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公开(公告)号：CN104166181A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201410440446.6
申请日：2014-09-01
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G02B6/13
Abstract: 本发明公开了一种光子晶体的制造方法，其包括：设计制作光子晶体的掩膜板，所述掩膜板上的图形或图形组合必须是周期分布的；布置光路，将用于制作光子晶体的材料置于所述掩膜板的一侧，将所述平面光光源置于所述掩膜板的另一侧；其中，所述材料距离掩膜板2个泰伯周期以上；开启所述光源，所述光源通过所述掩膜板，在掩膜板的另一侧的空间形成周期性的泰伯像，并且在所述光子晶体材料中形成感光区，使得该感感光区在所述光子晶体材料中由远场向近场推进，完成曝光。采用本发明提出的这种方法可以以较低成本制作二维和三维光子晶体。
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