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公开(公告)号：CN101793867A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200910244534.8
申请日：2009-12-30
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种对半导体材料进行霍尔测试的装置，该装置包括第一单刀双掷继电器(A)、第二单刀双掷继电器(B)、第三单刀双掷继电器(C)、第四单刀双掷继电器(D)、第五单刀双掷继电器(a)、第六单刀双掷继电器(b)、第七单刀双掷继电器(c)和第八单刀双掷继电器(d)。利用本发明，提高了测试的效率，最大限度的减少测试中人为操作带来的误差。
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公开(公告)号：CN100468044C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200510055896.4
申请日：2005-03-17
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种半导体材料内部残余应力的测试装置，包括：一信号采集系统，该信号采集系统用于对采集的信号进行处理，得到样品的应力分布情况；一光学检偏棱镜，该光学检偏棱镜与信号采集系统连接；一光学起偏棱镜，该光学起偏棱镜置于光学检偏棱镜之前；一光弹性调制器，该光弹性调制器置于光学检偏棱镜和光学起偏棱镜之间；一激光光源，该激光光源提供光学系统的信号源。
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公开(公告)号：CN1834623A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200510055896.4
申请日：2005-03-17
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种半导体材料内部残余应力的测试装置，包括：一信号采集系统，该信号采集系统用于对采集的信号进行处理，得到样品的应力分布情况；一光学检偏棱镜，该光学检偏棱镜与信号采集系统连接；一光学起偏棱镜，该光学起偏棱镜置于光学检偏棱镜之前；一光弹性调制器，该光弹性调制器置于光学检偏棱镜和光学起偏棱镜之间；一激光光源，该激光光源提供光学系统的信号源。
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