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公开(公告)号:CN1681176A
公开(公告)日:2005-10-12
申请号:CN200410032559.9
申请日:2004-04-09
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种带有锥形增益区的脊型波导高功率半导体激光器结构,其中包括:一衬底;一铝镓砷层,该铝镓砷层制作在衬底上;一铝镓铟砷有源层,该铝镓铟砷铝镓铟砷有源层制作在铝镓砷上;一铝铟砷层,该铝铟砷铝铟砷层制作在铝镓铟砷有源层上;一铟磷层,该铟磷层制作在铝铟砷层上,该铟磷层的面积小于铝铟砷层的面积;一铟镓砷层,该铟镓砷层制作在铟磷层上;该铟磷层和铟镓砷层形成一脊型区域;一层介质膜,该层介质膜制作在脊型区域的两侧及铝铟砷层上;一层P面电极,该P面电极制作在脊型区域的上面及介质膜上;一N面电极,该N面电极制作在衬底的下面。