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公开(公告)号:CN108360047B
公开(公告)日:2020-03-17
申请号:CN201810324671.1
申请日:2018-04-11
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种电镀夹具,包括:一下片,用于放置待镀铟件,中间有一第一矩形方口,第一矩形方口的第二长边上设置有电极,第一矩形方口的第一长边上设置有一导轨,用于支撑待镀铟件;一中片,所述中片为L形,所述L形的长边对应所述下片的第一矩形方口的第二长边一侧,所述L形的短边对应所述下片的第一矩形方口的第二短边一侧;一上片,所述上片的中间设置有一第二矩形方口,与所述第一矩形方口的位置对应;所述中片、第一滑块和第二滑块设置于上片、下片之间,并与上片、下片固定连接,第一滑块和第二滑块用于挤紧固定待电镀件。该夹具可兼容不同尺寸和不同形状的样品,实现同时对多个待镀件进行电镀,电镀效率高,并且可以达到很好的电镀均匀性。
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公开(公告)号:CN108360047A
公开(公告)日:2018-08-03
申请号:CN201810324671.1
申请日:2018-04-11
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种电镀夹具,包括:一下片,用于放置待镀铟件,中间有一第一矩形方口,第一矩形方口的第二长边上设置有电极,第一矩形方口的第一长边上设置有一导轨,用于支撑待镀铟件;一中片,所述中片为L形,所述L形的长边对应所述下片的第一矩形方口的第二长边一侧,所述L形的短边对应所述下片的第一矩形方口的第二短边一侧;一上片,所述上片的中间设置有一第二矩形方口,与所述第一矩形方口的位置对应;所述中片、第一滑块和第二滑块设置于上片、下片之间,并与上片、下片固定连接,第一滑块和第二滑块用于挤紧固定待电镀件。该夹具可兼容不同尺寸和不同形状的样品,实现同时对多个待镀件进行电镀,电镀效率高,并且可以达到很好的电镀均匀性。
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