公开(公告)号：CN116646821A

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN202310714261.9

申请日：2023-06-15

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 刘俊鸿 ,  许云飞 ,  张锦川 ,  翟慎强 ,  刘峰奇

IPC: H01S5/34

Abstract: 本公开提供一种拓扑面发射量子级联激光器以及制备方法，拓扑面发射量子级联激光器的制备方法包括：在衬底上依次形成金属键合层、有源层和上接触层；利用掩膜版对上接触层进行光刻显影，在掩膜版的带图案的位置涂覆光刻胶，之后对上接触层进行带胶的金属的电子束蒸发，形成金属层；对带胶的金属层进行剥离，得到金属拓扑图形层；以及对上接触层进行腐蚀，以在金属拓扑图形层的边缘形成吸收边界，以增强回音壁模式的吸收损耗，使拓扑面发射量子级联激光器保持在拓扑模式的工作状态。

公开(公告)号：CN113948971A

公开(公告)日：2022-01-18

申请号：CN202111230348.6

申请日：2021-10-21

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 刘俊鸿 ,  翟慎强 ,  刘峰奇

IPC: H01S5/40 ,  H01S5/00 ,  G01N21/35

Abstract: 本发明提供了一种量子级联激光器，包括N个单路量子级联激光器、金反射镜和N‑1个中红外波长合束片；单路量子级联激光器，用于发射激光，且每个单路量子级联激光器发射的激光的波长范围不同；金反射镜，用于将来自对应单路量子级联激光器发射的激光进行反射，得到反射激光；中红外波长合束片，用于透射第一激光，反射第二激光，并将第一激光和第二激光合束成同轴光，第一激光包括反射激光或前一中红外波长合束片合束的同轴光，第二激光包括来自对应单路量子级联激光器发射的激光。本发明还提供了一种物质检测装置及其检测方法，可以精准的探测各种物质。