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公开(公告)号：CN100465353C
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200410011633.9
申请日：2004-12-24
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种含二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜的制备方法。该方法选择二甲基二乙氧基硅烷的甲醇溶液作为沉积液，采用电化学沉积的方法，石墨作阳极，单晶硅片作阴极，通过直流高电压作用在阴极上得到含有二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜。其特点是：设备简单，沉积温度低，可以大面积合成含二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳膜。本发明有望在机械摩擦、电学、光学等领域得到应用。
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公开(公告)号：CN1796612A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：CN200410011633.9
申请日：2004-12-24
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种含二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜的制备方法。该方法选择二甲基二乙氧基硅烷的甲醇溶液作为沉积液，采用电化学沉积的方法，石墨作阳极，单晶硅片作阴极，通过直流高电压作用在阴极上得到含有二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜。其特点是：设备简单，沉积温度低，可以大面积合成含二氧化硅纳米颗粒的类金刚石碳膜。本发明有望在机械摩擦、电学、光学等领域得到应用。
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公开(公告)号：CN1632177A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN200310121059.8
申请日：2003-12-24
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
IPC: C25D9/08
Abstract: 本发明公开了一种含晶体结构的碳氮薄膜的制备方法。以含有尿素的甲醇溶液作为电解液，石墨作为阳极，单晶硅片作为阴极，通过直流高电压作用在阴极上沉积出碳氮薄膜。其特点是：实验设备简单，制备过程简便，仅利用在甲醇中掺杂一定量尿素的方法电化学沉积碳氮薄膜。该薄膜有望在微型机械、硬盘保护和平板显示器等领域使用。
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公开(公告)号：CN101205625B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610105325.1
申请日：2006-12-22
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种含金纳米颗粒的类金刚石复合薄膜的制备方法。选择含有金纳米颗粒的甲醇溶液作为沉积液，采用电化学沉积的方法，石墨作阳极，导电基底作阴极，通过直流高电压和搅拌作用在阴极上沉积得到含有金纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜。其特点是：设备简单，沉积温度低，成膜均匀，实现纳米颗粒和DLC薄膜的共沉积，使得纳米颗粒均匀分散在薄膜碳基质中。
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公开(公告)号：CN101205625A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200610105325.1
申请日：2006-12-22
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种含金纳米颗粒的类金刚石复合薄膜的制备方法。选择含有金纳米颗粒的甲醇溶液作为沉积液，采用电化学沉积的方法，石墨作阳极，导电基底作阴极，通过直流高电压和搅拌作用在阴极上沉积得到含有金纳米颗粒的类金刚石碳复合薄膜。其特点是：设备简单，沉积温度低，成膜均匀，实现纳米颗粒和DLC薄膜的共沉积，使得纳米颗粒均匀分散在薄膜碳基质中。
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