公开(公告)号：CN118814118A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202410896035.1

申请日：2024-07-05

Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 王道爱 ,  于童童 ,  李爽 ,  周峰

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/58 ,  C23C14/20

Abstract: 一种快速制备晶圆级高质量超薄金属透明薄膜的方法，涉及透明柔性导电材料技术领域，所制备的金属透明薄膜厚度为3‑20nm，包括如下步骤：在基底上涂覆液体衬底，放入离子溅射仪的腔体中；关闭腔体，抽真空，开始溅射，通过调节溅射功率和沉积时间来控制金属膜的厚度；待腔体冷却后，取出样品，将目标基底紧贴在金属膜上方，将目标基底和金属膜一起沿着基底缓慢滑下，泡入石油醚中以去除多余的液体衬底；取出后超声清洗，得到完整的金属透明薄膜。本发明可有效提高超薄金属透明薄膜的制备质量和制备效率。

公开(公告)号：CN118773555A

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202410896037.0

申请日：2024-07-05

Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 王道爱 ,  于童童 ,  李爽 ,  周峰

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/58 ,  C23C14/20 ,  H01B5/14 ,  H01B13/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  B82Y5/00 ,  B82Y15/00

Abstract: 一种快速制备超薄导电聚合物膜的方法及应用，涉及导电聚合物膜技术领域，方法包括如下步骤：在基底上涂覆液体衬底，并放入离子溅射仪的腔体中；将金属靶材固定，关闭腔体，抽真空，开始溅射，通过调节溅射功率和沉积时间来控制溅射形成的导电层厚度；待腔体冷却后，取出样品，将目标基底紧贴在金属膜上方，将目标基底和金属膜一起沿着基底缓慢滑下，泡入石油醚中以去除多余的液体衬底；得到导电聚合物膜。该方法气‑液界面直接沉积制备柔性超薄导电聚合物薄膜，以实现惰性金和液体衬底——如PDMS(聚二甲基硅氧烷)之间的强界面结合，可应用于柔性传感以及生物医学领域。