一种快速制备晶圆级高质量超薄金属透明薄膜的方法

    公开(公告)号:CN118814118A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410896035.1

    申请日:2024-07-05

    Abstract: 一种快速制备晶圆级高质量超薄金属透明薄膜的方法,涉及透明柔性导电材料技术领域,所制备的金属透明薄膜厚度为3‑20nm,包括如下步骤:在基底上涂覆液体衬底,放入离子溅射仪的腔体中;关闭腔体,抽真空,开始溅射,通过调节溅射功率和沉积时间来控制金属膜的厚度;待腔体冷却后,取出样品,将目标基底紧贴在金属膜上方,将目标基底和金属膜一起沿着基底缓慢滑下,泡入石油醚中以去除多余的液体衬底;取出后超声清洗,得到完整的金属透明薄膜。本发明可有效提高超薄金属透明薄膜的制备质量和制备效率。

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