-
公开(公告)号：CN110082360A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910412107.X
申请日：2019-05-17
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明提供了一种基于阵列相机的序列光学元件表面缺陷在线检测装置及方法，包括：照明系统、光学镜头、一个数字摄像机或阵列相机、二维运动装置、数字图像处理器。本发明的主要创新点是使用了二维运动装置带动相机在水平和竖直方向进行平移达到阵列相机的效果，阵列相机检测系统省去了对不同物距下的多个光学元件进行调焦成像的繁琐步骤，使得成像系统的成像焦距可以通过设置不同的重建物距进行灵活改变。此方法可应用于光学元件表面缺陷的在线检测，对多个光学元件表面缺陷同时在线检测速度的提高具有重大意义。
Search Results
1
records
(took 0.019 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
