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发明公开
基于柔性铰链结构的超分辨光刻方法和装置无效

公开(公告)号：CN108037638A

公开(公告)日：2018-05-15

申请号：CN201711316112.8

申请日：2017-12-12

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 , 赵承伟 , 张斌 , 王长涛 , 高平 , 刘利芹 , 刘明刚

IPC: G03F7/20 , G03F9/00

Abstract: 本发明公开了一种基于柔性铰链结构的超分辨光刻方法和装置，包括紫外曝光模块、检平模块、对准模块、柔性铰链光刻镜头、承片台模块和支撑架；紫外曝光模块、检平模块、对准模块和柔性铰链光刻镜头安装于上支撑板上，承片台模块安装于下支撑板上。本发明所提供的柔性铰链超分辨光刻装置中，承片台向上移动，使掩模和基片缓慢接触，接触过程中，在比较小的贴紧力作用在柔性铰链上，使掩模绕其通过几何中心的相互正交的两个轴旋转，完成贴平，避免产生横向位移。

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