公开(公告)号：CN113013268A

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN202110100758.2

申请日：2021-01-26

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 王文娟 ,  诸毅诚 ,  李冠海 ,  陆卫 ,  陈平平 ,  陈效双 ,  曲会丹 ,  高万甜

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/101 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种基于超表面透镜的小像元红外焦平面探测器。基于超表面透镜的小像元红外焦平面探测器包括红外焦平面探测器和形成在衬底处的超表面透镜。该超表面透镜由许多亚波长尺度的小圆柱构成，小圆柱的位置和直径大小按照相位规律排布，该超表面可以调制入射光的波前，使其能够聚焦到探测器像元的吸收层上。相比传统的红外焦平面探测器，本发明能够实现亚波长量级的聚焦光斑，可以将像元尺寸减小至波长量级，有利于平面式焦平面器件往更小的像元，更高的像元密度发展。与此同时，能在器件的光响应不变或提高的情况下，降低器件的暗电流，提高信噪比，抑制像元之间的光电串扰。