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公开(公告)号:CN118448484A
公开(公告)日:2024-08-06
申请号:CN202410578628.3
申请日:2024-05-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/0232 , H01L31/02 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开一种集成式动态调控高选择比红外偏振探测器及制备方法,涉及光电技术领域,探测器包括:自下至上的衬底层、金属反射层、电介质层以及电极层,还包括二维材料层;电极层包括源极、漏极、集成在源极的金属二维超材料以及集成在漏极的金属二维超材料;源极与漏极对称设置,且源极与漏极之间设有沟道;二维材料层跨越沟道并电连接源极及漏极;当探测器工作在零偏压状态时,光响来自于源极及漏极与金属二维超材料构成的肖特基结诱导的光热电效应;通过金属反射层配置源极及漏极的石墨烯的载流子浓度,在任一特定角度的线偏振光照射下,调控光电流的偏振消光比和方向。本发明实现了无穷高的消光比和任意偏振角度的0光电流响应。