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发明公开
一种氮化镓及氮化镓三元合金的钝化工艺方法无效

公开(公告)号：CN113054057A

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN202110263201.0

申请日：2021-03-11

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 李浩杰 , 刘向阳 , 张燕 , 王玲 , 许金通 , 李向阳

IPC: H01L31/18 , H01L33/00

Abstract: 本发明公开了一种氮化镓及氮化镓三元合金的钝化工艺方法。该工艺方法包括以硝酸、三氯化钌或硫化钠为钝化液，对洁净的氮化镓及氮化镓三元合金进行第一次钝化；第一次钝化清洗后外延生长二氧化硅或氮化硅薄膜进行第二次钝化；器件成型后以硝酸、三氯化钌或硫化钠为钝化液进行第三次钝化。使用本发明的钝化工艺有效降低氮化镓及氮化镓三元合金器件的表面漏电流和暗电流，提高器件性能。

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