公开(公告)号：CN118603304A

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202410629601.2

申请日：2024-05-21

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 黄志明 ,  池灵泽 ,  周炜 ,  高艳卿 ,  江林 ,  李政奇 ,  郑国彬 ,  周强国 ,  张起源 ,  黄敬国 ,  姚娘娟 ,  褚君浩

IPC: G01J1/42

Abstract: 本发明公开了一种热敏型线列太赫兹探测器及其制备方法，所述太赫兹探测器从下至上依次包括铜硅底座、宝石衬底、锰钴镍氧热敏元、环氧胶和聚合物衍生陶瓷(Polymer derived ceramic，PDC)吸收膜。本发明结合PDC吸收膜和锰钴镍氧热敏元，实现了器件对0.1‑10THz的宽波段近完美吸收(90％以上)。通过硅材料湿法方法实现下凹型硅金字塔阵列，以其为模版制作聚合物金字塔阵列，通过热解方法制备得到PDC吸收膜，可贡献0.1～10THz的高吸收。本发明结合可有效解决原有锰钴镍氧热敏探测敏感元光吸收弱的问题，实现宽波段太赫兹探测。