公开(公告)号：CN109396962B

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN201811176473.1

申请日：2018-10-10

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 孙夺 ,  杨波 ,  于一榛 ,  李雪 ,  邵秀梅

IPC: B24B1/00 ,  B24B29/02

Abstract: 本发明公开了一种用于高长宽比红外焦平面探测器的减薄抛光模具及方法，模具包括：刻有凹槽的夹具基板、电极保护衬片、高度补偿垫片和芯片保护衬片。其使用方法为：将电极保护衬片粘贴于光敏芯片两侧的读出电路凸出部位；将红外焦平面探测器和高度补偿垫片分别固定于夹具基板的中央和凹槽内；将芯片保护衬片固定于高度补偿垫片中央；在该结构下对红外焦平面探测器进行减薄抛光。本发明的优点在于：①解决高长宽比焦平面探测器在机械减薄过程中易碎裂的问题，可实现百微米量级的减薄；②能够精确控制减薄厚度，并保证减薄后探测器表面具有良好的平面度；③显著降低减薄过程中对探测器带来的物理损伤，避免因此所导致的探测器性能的下降。

公开(公告)号：CN109397070A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201811240107.8

申请日：2018-10-24

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 于一榛 ,  孙夺 ,  曹高奇 ,  邓双燕 ,  杨波 ,  邵秀梅 ,  李雪 ,  龚海梅

IPC: B24B37/30

Abstract: 本发明公开了一种用于磷化铟晶圆片及其外延晶圆片抛光模具，其结构包括陶瓷沟道、陶瓷基板、配重块。在抛光垫和陶瓷基板之间起支撑作用的陶瓷沟道。通过在陶瓷基板上增加陶瓷沟道，应用本发明所述的抛光模具可以降低抛光模具的复杂程度，使抛光过程中模具自转稳定，同时加快抛光速率，以获得高平整度的衬底，并降低工艺成本。

公开(公告)号：CN116840848A

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN202210298166.0

申请日：2022-03-25

Applicant: 华为技术有限公司 ,  中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 高红彪 ,  孙夺 ,  顾溢

IPC: G01S17/10 ,  G01S7/4863

Abstract: 本申请实施例提供一种平衡探测器阵列。该平衡探测器阵列包括第一探测器阵列和第二探测器阵列，采用镜像方式设置于同一衬底。第一探测器阵列和第二探测器阵列均包括M个探测器像元且一一对应，第一探测器阵列和第二探测器阵列的M个探测器像元构成M个平衡像元对，每个平衡像元对用于输出一个差分信号，M为大于1的整数。每个平衡像元对包括第一探测器像元和第二探测器像元，第一探测器像元和第二探测器像元的光敏区域的几何中心分别位于第一直线和第二直线，第二直线与第一直线平行，第一探测器像元和第二探测器像元的光敏区域的几何中心的连线与第一直线垂直。该平衡探测器阵列能够提升光电探测器的光敏区域的占空比，以及激光雷达的出点率。

公开(公告)号：CN116413729A

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN202111672730.2

申请日：2021-12-31

Applicant: 华为技术有限公司 ,  中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 孙夺 ,  高红彪 ,  顾溢

IPC: G01S17/08 ,  G01S17/58 ,  G01S7/4914 ,  G01S7/4913 ,  G01S7/4911 ,  G01S7/48 ,  H01L27/146

Abstract: 本申请实施例公开了一种平衡光电探测器、测距装置和测速装置，用于提升占空比，实现小型化。本申请实施例提供的平衡探测器包括：第一掺杂区、第二掺杂区和透光层；第一掺杂区和第二掺杂区位于透光层的第一面上；第一掺杂区用于在第一面上接收第一光信号，并在与第一面相对的第二面上，输出第一光信号对应的第一电信号；其中，第一光信号为本振光和信号光经光混频器输出的一路光；第二掺杂区用于在第一面上接收第二光信号，并在与第一面相对的第三面上，输出第二光信号对应的第二电信号；其中，第二光信号为本振光和信号光经光混频器输出的另一路光。

公开(公告)号：CN109396962A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201811176473.1

申请日：2018-10-10

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 孙夺 ,  杨波 ,  于一榛 ,  李雪 ,  邵秀梅

IPC: B24B1/00 ,  B24B29/02

CPC classification number: B24B1/00 ,  B24B29/02

Abstract: 本发明公开了一种用于高长宽比红外焦平面探测器的减薄抛光模具及方法，模具包括：刻有凹槽的夹具基板、电极保护衬片、高度补偿垫片和芯片保护衬片。其使用方法为：将电极保护衬片粘贴于光敏芯片两侧的读出电路凸出部位；将红外焦平面探测器和高度补偿垫片分别固定于夹具基板的中央和凹槽内；将芯片保护衬片固定于高度补偿垫片中央；在该结构下对红外焦平面探测器进行减薄抛光。本发明的优点在于：①解决高长宽比焦平面探测器在机械减薄过程中易碎裂的问题，可实现百微米量级的减薄；②能够精确控制减薄厚度，并保证减薄后探测器表面具有良好的平面度；③显著降低减薄过程中对探测器带来的物理损伤，避免因此所导致的探测器性能的下降。

公开(公告)号：CN109980044A

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201910246114.7

申请日：2019-03-29

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 李雪 ,  孙夺 ,  邵秀梅 ,  朱宪亮 ,  杨波 ,  于一榛 ,  李淘

IPC: H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种用于延伸波长InGaAs焦平面探测器的耦合方法，具体步骤如下：1)粘贴光敏芯片，2)减薄抛光，3)涂覆粘合剂，4)粘贴固定基板，5)固化粘合剂，6)分离抛光基板，7)光敏芯片与读出电路耦合，8)底充胶，9)分离固定基板。本发明通过在光敏芯片减薄抛光后引入固定基板，保证光敏芯片在耦合过程中具有良好的平面度，降低倒装焊时其与读出电路间的对准难度，提高耦合互连效率和质量，解决了由于延伸波长光敏芯片的自身形变所导致的焦平面探测器电学性能和可靠性降低的问题。同时粘合剂难溶于常规工艺中使用的有机溶剂，并采用匀胶方式涂覆于固定基板表面，工艺简便、可操作性强、重复性好，且具有很好的工艺兼容性和通用性。

公开(公告)号：CN109253804A

公开(公告)日：2019-01-22

申请号：CN201811176474.6

申请日：2018-10-10

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 孙夺 ,  杨波 ,  李淘 ,  李雪 ,  邵秀梅

IPC: G01J4/00

Abstract: 本发明公开了一种单片集成长线列金属偏振光栅的InGaAs焦平面探测器，其结构自下至上依次为硅基读出电路、铟柱互连层、InGaAs光敏芯片、SiO2介质层以及金属偏振光栅。所述金属偏振光栅由不同偏振取向的长线列亚波长金属光栅构成。本发明的优点在于：1、单片集成线列偏振光栅，结构紧凑，减小探测器体积；2、线列方式排布，能够有效避免不同偏振角度之间的串音问题，提高实际消光比；3、线列规模较大，可使探测器具有更大视场和更高分辨率；4、优化偏振探测单元设计，降低加工难度，增大光栅区域覆盖比例。

公开(公告)号：CN208902268U

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201821638611.9

申请日：2018-10-10

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 孙夺 ,  杨波 ,  李淘 ,  李雪 ,  邵秀梅

IPC: G01J4/00

Abstract: 本专利公开了一种单片集成长线列金属偏振光栅的InGaAs焦平面探测器，其结构自下至上依次为硅基读出电路、铟柱互连层、InGaAs光敏芯片、SiO2介质层以及金属偏振光栅。所述金属偏振光栅由不同偏振取向的长线列亚波长金属光栅构成。本专利的优点在于：1、单片集成线列偏振光栅，结构紧凑，减小探测器体积；2、线列方式排布，能够有效避免不同偏振角度之间的串音问题，提高实际消光比；3、线列规模较大，可使探测器具有更大视场和更高分辨率；4、优化偏振探测单元设计，降低加工难度，增大光栅区域覆盖比例。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利