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公开(公告)号：CN119882253A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510201291.9
申请日：2025-02-24
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种带宽和分光比可调的分光膜及调控方法，属于光学薄膜技术领域。所述分光膜的结构从下往上依次包括基底、界面减反膜、虚拟界面层和空气。所述界面减反膜为高低折射率膜构成的多层干涉型减反膜或基于渐变折射率实现的宽带减反膜，实现虚拟界面层到基底的反射基本为零。所述虚拟界面层为厚度为零的膜层，其与空气的界面实现宽带均匀分光。所述调控方法通过对渐变折射率的减反膜的子层细分程度来调控带宽，通过虚拟界面层折射率来调控分光比。本发明提供的分光膜及调控方法，可实现任意带宽的均匀分光，分光比可调，膜系结构简单，易于设计和制备。
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公开(公告)号：CN117420628A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202210811407.7
申请日：2022-07-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B5/28
Abstract: 本发明公开了一种对紫外可见光截止的宽光谱红外透射滤光窗口，该窗口基底为硒化锌晶体，基底一面上设计宽带截止膜，其主膜系采用长波通滤光片式的膜系结构，以硒化锌和氟化镱分别作为高、低折射率材料。使用两个截止膜堆实现宽带截止，主膜系两端添加匹配层，通过优化匹配层提升红外波段透射率；基底另一面设计了宽光谱减反膜。滤光窗口的光学薄膜制备过程中采用了合适的沉积温度、沉积速率以及离子辅助沉积等工艺。该窗口能阻止0.20μm～0.80μm宽波段内的光通过，允许0.92μm～15.50μm宽波段的光通过，经过后续光路到达红外探测器响应区。本发明的滤光窗口性能稳定、可靠性好，适合于红外成像系统中的光谱选择使用。
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公开(公告)号：CN104035147B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201410259004.1
申请日：2014-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B1/115
Abstract: 本发明公开了一种以锗为基底的具有太阳光反射功能的长波红外增透膜，该增透膜镀制在以Ge为基体材料的光学透镜上，光线垂直入射。膜系设计采用前截止滤光片为基本结构，采用非对称等效层获得与基底折射率的匹配。以ZnS和YF3作为主膜系的高低折射率材料，ZnS和Ge作为等效层材料。在制备过程中采用了离子源辅助、合适的基底温度等特定工艺。该增透膜能将可见光及近红外波段的太阳辐照尽可能反射掉，而将长波红外辐射尽可能透射。本发明具有太阳光反射功能的长波红外增透膜性能稳定，适合于中高轨道应用的小型长寿命光学敏感器的太阳防护窗使用，也可用作多光谱红外相机的分色片。
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公开(公告)号：CN115201941B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202110392524.X
申请日：2021-04-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种适用于空间环境的高效红外宽光谱减反射膜，该减反射膜是在红外透镜或窗口基底上，以Ge、YbF3为高低折射率材料进行主膜系构建，以ZnS为粘合层改善基底与膜层材料间的结合特性，辅以最外层ZnS为保护层提高减反射膜的空间环境使用可靠性。膜系设计采用考虑介质吸收的高低折射率交替膜系设计方法辅以粘合层，获得满足技术要求的设计结果。该宽光谱减反射膜在制备过程中采用了离子辅助沉积、合适的沉积温度及沉积速率等特定工艺，能够实现对2‑16μm波段能量高效透射，同时具有良好的空间环境可靠性，适合于多谱段红外遥感仪器的透镜和窗口使用，在保证红外光学系统能量的高效传递的同时减少了鬼像对成像系统的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112162340B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202010965503.8
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种以锗为基底45度角倾斜使用的红外宽光谱分色片，该分色片入射面采用长波通滤光片的膜系结构形式，实现短波红外反射，中长波红外透射的光谱分光功能，膜系采用锗和硫化锌作为高低折射率材料。通过使用双反射堆来实现多通道宽带反射，反射堆两端加匹配层，匹配层中使用氟化镱，优化匹配层压缩透射通道波纹；出射面设计了宽光谱减反射膜，以获得透射通道高透射率。分色片在制备过程中采用合适的沉积速率、沉积温度与离子辅助沉积等工艺。该分色片能实现在1.29μm～1.38μm、1.58μm～1.83μm、1.95μm～2.32μm三个通道内高反射，3.70μm～12.50μm内多个通道高透射。本发明的分色片可靠性好、光学及物理性能稳定。
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公开(公告)号：CN107132603B
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201710387548.X
申请日：2017-05-27
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种从紫外到短波红外的宽光谱低偏振灵敏度分色片，该分色片以石英为基底，膜系以Nb2O5和Ta2O5为高折射率材料、以SiO2为低折射率材料。在石英基底一面依次添加中心波长从近红外至紫外逐渐递减的长波通反射膜Ⅰ、反射膜Ⅱ、反射膜Ⅲ和反射膜Ⅳ，在反射膜Ⅰ与基底之间插入匹配层Ⅰ，在反射膜Ⅳ与空气之间添加匹配层Ⅱ，最后保持全部高折射率膜层厚度不变，将低折射率膜层厚度作为唯一优化参数对初始膜系进行优化从而获得最终分色膜系。本发明分色片光谱覆盖范围宽、偏振灵敏度低，能够有效地将波段相近的近红外光谱进行分离，适合于多光谱低偏振灵敏度航天海洋遥感仪器的分色使用。
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公开(公告)号：CN101907494A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010234840.6
申请日：2010-07-23
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于探测器杜瓦封装焊接的宽光谱中短波红外窗口及制备工艺，该窗口以硅为基底材料，其中一个表面的边缘及侧面是由纳米量级镍铬层作为粘合层镀制一定厚度的金膜，称之为金属化层，用于探测器杜瓦的封装焊接。而该表面中间区域及另外一表面是以ZnS和YF3作为高低折射率材料，等效层采用ZnS和Si镀制而成的高低折射率交替的多层膜结构的宽光谱中短波红外减反射膜。该减反射膜采用离子源辅助、合适基底温度等特定工艺镀制而成。该窗口在1.2-4.8μm范围内平均透射率T＞95％，且在2.7-3.0μm范围内未见YF3常见的水汽吸收峰。本发明性能稳定，适合于现代多光谱空间遥感仪器的中短波红外探测器杜瓦窗口。
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公开(公告)号：CN118210093A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410296985.0
申请日：2024-03-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于全介质薄膜的可见红外超宽光谱分色片，以反短透长的方式进行分光。分色片以硒化锌晶体为基底，在其一个表面设计分色膜，以硒化锌和氟化镱、硫化锌和氟化镱作为高、低折射率介质组合成不同反射堆，用五个反射堆能实现宽带反射，优化匹配层提升近红外至长波红外的透射率。为满足空间可靠性要求，膜系设计时限制了反射堆周期数，在满足光学性能时尽量减小膜层厚度。在合适的沉积温度、沉积速率和离子辅助沉积等条件下制备分色片。根据实测反射率与透射率曲线，在0.4μm～1.06μm波段实现了高反射，1.24～13.5μm多个波段实现了高透射。本发明的分色片通过了附着力、温湿度、温度交变、浸泡等环境试验，适用于多通道成像系统中光谱分光。
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