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公开(公告)号：CN108388023A
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201810090458.9
申请日：2018-01-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种大口径宽光谱F-P可调谐滤波器的高精密装配系统，该装配系统主要由定镜安装模块、动镜安装模块、压电惯性驱动器、三维微位移平台和二维电动位移台组成，采用粗调、微调和精调三重调节机构调节对F-P腔的初始腔长和反射镜面间平行度进行精确设定，腔长调节分辨率可以达到10nm量级，腔内两反射镜面间平行度可以达到10-1μrad量级。该高精密装配系统位移定位精度高，平行度调节能力强，能够确保大口径宽光谱范围F-P可调谐滤波器的F-P腔的初始腔长和反射镜面间平行度满足高光谱遥感应用要求。
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公开(公告)号：CN110488402B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN201910618839.4
申请日：2019-07-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B5/08 , G02B1/10 , C23C14/02 , C23C14/08 , C23C14/18 , C23C14/24 , C23C14/30 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C28/00
Abstract: 本发明公开了一种紫外可见红外高效反射的银基薄膜结构及镀膜方法。该银基薄膜结构采用银反射膜加上长波通的介质反射膜构成膜系主体，功能设计上，银膜高效反射可见红外波段，长波通介质反射膜反射紫外波段，同时作为银膜保护层。所述镀膜方法为采用常温蒸镀技术与原子层沉积技术的结合，常温蒸镀技术保持银膜光学性能，原子层沉积技术镀制无针孔致密膜，对银膜形成有效保护。本发明的优点在于实现了紫外可见红外高效反射、提高了银膜的耐环境特性、可有效保持镜面面形和光洁度，适用于高端光学仪器和遥感载荷的光学系统的多波段高效传递。
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公开(公告)号：CN108388023B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN201810090458.9
申请日：2018-01-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种大口径宽光谱F‑P可调谐滤波器的高精密装配系统，该装配系统主要由定镜安装模块、动镜安装模块、压电惯性驱动器、三维微位移平台和二维电动位移台组成，采用粗调、微调和精调三重调节机构调节对F‑P腔的初始腔长和反射镜面间平行度进行精确设定，腔长调节分辨率可以达到10nm量级，腔内两反射镜面间平行度可以达到10‑1μrad量级。该高精密装配系统位移定位精度高，平行度调节能力强，能够确保大口径宽光谱范围F‑P可调谐滤波器的F‑P腔的初始腔长和反射镜面间平行度满足高光谱遥感应用要求。
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公开(公告)号：CN110488402A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910618839.4
申请日：2019-07-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B5/08 , G02B1/10 , C23C14/02 , C23C14/08 , C23C14/18 , C23C14/24 , C23C14/30 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C28/00
Abstract: 本发明公开了一种紫外可见红外高效反射的银基薄膜结构及镀膜方法。该银基薄膜结构采用银反射膜加上长波通的介质反射膜构成膜系主体，功能设计上，银膜高效反射可见红外波段，长波通介质反射膜反射紫外波段，同时作为银膜保护层。所述镀膜方法为采用常温蒸镀技术与原子层沉积技术的结合，常温蒸镀技术保持银膜光学性能，原子层沉积技术镀制无针孔致密膜，对银膜形成有效保护。本发明的优点在于实现了紫外可见红外高效反射、提高了银膜的耐环境特性、可有效保持镜面面形和光洁度，适用于高端光学仪器和遥感载荷的光学系统的多波段高效传递。
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公开(公告)号：CN107894283B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201711000670.3
申请日：2017-10-24
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种宽光谱范围F‑P可调谐滤波器多级透射峰的抑制方法。该方法具体是指根据高光谱遥感覆盖的波段，通过合理划分Fabry‑Perot可调谐滤波器的工作光谱范围，并确定Fabry‑Perot腔的腔长变化区间，来消除Fabry‑Perot腔多级透射峰的影响，使Fabry‑Perot可调谐滤波器在[λmin,λmax]内只存在单一透射峰，确保Fabry‑Perot可调谐滤波器的波长扫描模式满足高光谱成像应用要求。本发明可以有效扩展基于空间遥感应用的Fabry‑Perot可调谐滤波器的工作光谱范围，加速高光谱、超光谱成像设备的小型化和轻量化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112162340A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202010965503.8
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种以锗为基底45度角倾斜使用的红外宽光谱分色片，该分色片入射面采用长波通滤光片的膜系结构形式，实现短波红外反射，中长波红外透射的光谱分光功能，膜系采用锗和硫化锌作为高低折射率材料。通过使用双反射堆来实现多通道宽带反射，反射堆两端加匹配层，匹配层中使用氟化镱，优化匹配层压缩透射通道波纹；出射面设计了宽光谱减反射膜，以获得透射通道高透射率。分色片在制备过程中采用合适的沉积速率、沉积温度与离子辅助沉积等工艺。该分色片能实现在1.29μm～1.38μm、1.58μm～1.83μm、1.95μm～2.32μm三个通道内高反射，3.70μm～12.50μm内多个通道高透射。本发明的分色片可靠性好、光学及物理性能稳定。
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公开(公告)号：CN105758625B
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201610236516.5
申请日：2016-04-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种测量遥感仪器的线偏振灵敏度的装置及方法。该测量装置包括光源、准直透镜组、第一起偏器、第二起偏器、光电探测器、保偏扩束镜和遥感仪器。光束经由两个起偏器进行线偏振光调制，从而检测遥感仪器的线偏振灵敏度。所述测量方法为：1)精确校准两个起偏器的起偏角度；2)旋转第二起偏器，并利用遥感仪器进行光强探测，计算遥感仪器的相对光学效率曲线；3)变更第一起偏器的起偏角度，重复2)获得多条光学效率曲线，整合数据计算线偏振灵敏度。本发明的优点在于传输光的偏振状态明确，可用公式精确描述，无需退偏处理，克服了退偏效果差带来的线偏振灵敏度测量误差大的缺点，适用于精确测量遥感仪器的线偏振灵敏度。
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公开(公告)号：CN105758625A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610236516.5
申请日：2016-04-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种测量遥感仪器的线偏振灵敏度的装置及方法。该测量装置包括光源、准直透镜组、第一起偏器、第二起偏器、光电探测器、保偏扩束镜和遥感仪器。光束经由两个起偏器进行线偏振光调制，从而检测遥感仪器的线偏振灵敏度。所述测量方法为：1)精确校准两个起偏器的起偏角度；2)旋转第二起偏器，并利用遥感仪器进行光强探测，计算遥感仪器的相对光学效率曲线；3)变更第一起偏器的起偏角度，重复2)获得多条光学效率曲线，整合数据计算线偏振灵敏度。本发明的优点在于传输光的偏振状态明确，可用公式精确描述，无需退偏处理，克服了退偏效果差带来的线偏振灵敏度测量误差大的缺点，适用于精确测量遥感仪器的线偏振灵敏度。
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公开(公告)号：CN112162340B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202010965503.8
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种以锗为基底45度角倾斜使用的红外宽光谱分色片，该分色片入射面采用长波通滤光片的膜系结构形式，实现短波红外反射，中长波红外透射的光谱分光功能，膜系采用锗和硫化锌作为高低折射率材料。通过使用双反射堆来实现多通道宽带反射，反射堆两端加匹配层，匹配层中使用氟化镱，优化匹配层压缩透射通道波纹；出射面设计了宽光谱减反射膜，以获得透射通道高透射率。分色片在制备过程中采用合适的沉积速率、沉积温度与离子辅助沉积等工艺。该分色片能实现在1.29μm～1.38μm、1.58μm～1.83μm、1.95μm～2.32μm三个通道内高反射，3.70μm～12.50μm内多个通道高透射。本发明的分色片可靠性好、光学及物理性能稳定。
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公开(公告)号：CN107894283A
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201711000670.3
申请日：2017-10-24
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种宽光谱范围F-P可调谐滤波器多级透射峰的抑制方法。该方法具体是指根据高光谱遥感覆盖的波段，通过合理划分Fabry-Perot可调谐滤波器的工作光谱范围，并确定Fabry-Perot腔的腔长变化区间，来消除Fabry-Perot腔多级透射峰的影响，使Fabry-Perot可调谐滤波器在[λmin,λmax]内只存在单一透射峰，确保Fabry-Perot可调谐滤波器的波长扫描模式满足高光谱成像应用要求。本发明可以有效扩展基于空间遥感应用的Fabry-Perot可调谐滤波器的工作光谱范围，加速高光谱、超光谱成像设备的小型化和轻量化。
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