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公开(公告)号：CN103058129B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201310003760.3
申请日：2013-01-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 复旦大学
Abstract: 本发明提供一种基于边缘转移法制备柔性衬底上半导体亚微米带的方法及柔性光波导，将绝缘体上半导体衬底的顶层半导体刻蚀成间隔排列的半导体条结构；采用HF溶液将埋氧层腐蚀成多个支撑结构，使各该半导体条结构的两侧形成悬空的半导体带结构；将一PDMS衬底与各该半导体条结构进行保角性接触；将所述PDMS衬底朝预设方向掀起，使各该半导体带结构与各该半导体条结构脱离而转移至所述PDMS衬底；可通过所制备的半导体亚微米带制作柔性衬底上硅光波导。本发明首次提出通过控制绝缘体上半导体材料边缘腐蚀的方法实现半导体亚微米带向柔性衬底的转移；半导体亚微米带的宽度、排列可控性非常高，可应用于较高精度的器件的制作；方法简易有效且成本较低。
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公开(公告)号：CN103065937A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210593800.X
申请日：2012-12-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 复旦大学
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L24/95 , H01L2224/95085
Abstract: 本发明涉及基于图形识别在衬底上集成多种材料的方法，包括通过光刻以及RIE刻蚀过程制备具有微型井图形的衬底以及制备与所述微型井图形互补的、不同材料的微单元的步骤；然后将具有微型井图形的衬底以及与所述微型井图形互补的、不同材料的微单元放入盛有酸性组装液的容器中，利用脉冲湍流系统在容器中产生湍流，从而对微单元产生扰动使得形状互补的微单元与具有微型井图形的衬底通过图形辨认自组装集成一体。本发明最终形成硅基衬底上不同半导体材料集成的结构，即MSMOS（Multi-Semiconductor Materials on Silicon）。这种自组装形成的材料满足国际半导体技术发展路线图(ITRS)所提出的延续摩尔定律以及超越摩尔定律的材料需求；解决了异质生长的失配问题；同时，自组装形成异质材料集成的方法更加简易，成本更低。
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公开(公告)号：CN103058129A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201310003760.3
申请日：2013-01-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 复旦大学
Abstract: 本发明提供一种基于边缘转移法制备柔性衬底上半导体亚微米带的方法及柔性光波导，将绝缘体上半导体衬底的顶层半导体刻蚀成间隔排列的半导体条结构；采用HF溶液将埋氧层腐蚀成多个支撑结构，使各该半导体条结构的两侧形成悬空的半导体带结构；将一PDMS衬底与各该半导体条结构进行保角性接触；将所述PDMS衬底朝预设方向掀起，使各该半导体带结构与各该半导体条结构脱离而转移至所述PDMS衬底；可通过所制备的半导体亚微米带制作柔性衬底上硅光波导。本发明首次提出通过控制绝缘体上半导体材料边缘腐蚀的方法实现半导体亚微米带向柔性衬底的转移；半导体亚微米带的宽度、排列可控性非常高，可应用于较高精度的器件的制作；方法简易有效且成本较低。
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公开(公告)号：CN115541681B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202211331152.0
申请日：2022-10-28
IPC: G01N27/327 , G01N27/30
Abstract: 本发明涉及一种多功能多孔碳柔性电化学生物传感器的制备方法和应用。该传感器由天然多孔碳材料、以及沉积在多孔碳表面的MOF薄膜组成。与现有技术相比，本发明将天然多孔碳与原子层沉积辅助制备MOF薄膜结合，可以通过增加比表面积，提升分子吸附量，从而提高生物传感器件的测量灵敏度，降低检测限。该复合材料充分利用了多级孔结构和三维导电框架提高电化学生物传感性能，相应器件在电化学生物传感领域有重要应用前景。
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公开(公告)号：CN115541681A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211331152.0
申请日：2022-10-28
IPC: G01N27/327 , G01N27/30
Abstract: 本发明涉及一种多功能多孔碳柔性电化学生物传感器的制备方法和应用。该传感器由天然多孔碳材料、以及沉积在多孔碳表面的MOF薄膜组成。与现有技术相比，本发明将天然多孔碳与原子层沉积辅助制备MOF薄膜结合，可以通过增加比表面积，提升分子吸附量，从而提高生物传感器件的测量灵敏度，降低检测限。该复合材料充分利用了多级孔结构和三维导电框架提高电化学生物传感性能，相应器件在电化学生物传感领域有重要应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116377492A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310243626.4
申请日：2023-03-14
IPC: C25B11/091 , C25B1/04 , C25B11/067
Abstract: 本发明属于催化材料技术领域，具体为MXene负载MOF的复合结构电催化剂及其制备方法。本发明采用化学蚀刻制备二维片层衬底MXene；通过原子层沉积技术沉积氧化物薄膜，用以诱导生长MOF薄膜；最后碳化，得到复合结构电催化剂；该电催化剂是多层结构的纳米级催化剂，MOF薄膜碳化后成为金属掺杂的多孔碳薄膜结合在MXene的片层结构上，增强了活性部位的暴露，使多层互联的片层提供丰富的活性位点。分层及多孔结构为电解质的渗透提供了极大的便利，因此该电催化剂具有优异的电催化制氢性能，可广泛应用于电解水制氢领域。
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公开(公告)号：CN116159155A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202211601264.3
申请日：2022-12-13
Abstract: 本发明属于纳米材料技术领域，具体为一种MOF薄膜修饰的载药微泡超声造影剂及其制备方法。本发明载药微泡超声造影剂，由水凝胶微泡以及沉积微泡表面的MOF薄膜、Pt层组成的微球，以及负载在微球表面的药物组成；水凝胶微泡外层为壳结构，该壳由表面活性剂和油性混合溶液固化后组成，内部为气芯结构，MOF薄膜完全包覆于水凝胶微泡外表面，Pt层包覆于微球一侧，形成不对称结构，从而实现驱动功能。本发明将传统的医用超声造影剂与MOF薄膜和微纳马达技术结合，形成可视化、可载药、可靶向运动的多功能医学诊疗微体系。本发明在水凝胶空心材料的造影功能基础上充分利用微纳马达和MOF的多孔结构来提升功能，在生物医药领域有重要应用前景，如可用于医学超声检测、靶向载药治疗等。
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公开(公告)号：CN115864002A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211416670.2
申请日：2022-11-13
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于光学超材料技术领域，具体为一种基于二氧化钒平面开口谐振环的可调节太赫兹超材料。本发明超材料包括高阻硅片衬底、形成在衬底上的由平面开口谐振环结构单元组成的二维阵列；结构单元包括二氧化钒薄膜、金薄膜；由金薄膜产生电磁波共振，二氧化钒调制整体吸收率；该二维超材料实现可调节共振吸收方式为：在室温下，二氧化钒为绝缘态，只由金介质作为共振吸收单元，L‑C共振和磁共振产生两个波长位置的吸收峰；二氧化钒加热至相变温度以上，变为金属相，对红外波段产生强烈吸收，在两个峰位共振吸收的基础上使整体的吸收率大幅度提高。本发明仅通过温度的变化就可实现吸收率大范围调节，在微纳光学、吸波材料等领域具有广阔应用前景。
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公开(公告)号：CN112924435A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202110106170.8
申请日：2021-01-26
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明涉及一种MOF薄膜修饰的管状光流体探测器及其制备和应用，该管状光流体探测器由WGM谐振腔、以及沉积在WGM谐振腔表面的MOF薄膜组成。与现有技术相比，本发明将WGM微腔与MOF结合，可以通过增加比表面积，提升流体吸附量，从而提高光流体探测器件的测量灵敏度，降低检测限，该新型探测器件在流体传感领域有重要应用前景。
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公开(公告)号：CN108417798A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810132771.4
申请日：2018-02-09
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于电化学技术领域，具体为ZnO纳米片/碳海绵柔性复合负极材料及其制备方法。本发明的柔性复合负极材料是以多孔自支撑碳海绵为载体、以氧化锌（ZnO）二维纳米片作为锂电池负极活性材料组成的复合材料，其中ZnO负载量高，且大电流密度下循环稳定。本发明制备步骤为：在多孔聚氨酯模板表面原子层沉积ZnO，高温除去有机模板后得到ZnO纳米片，将其配制成ZnO纳米片分散液；将三聚氰胺海绵高温碳化得到碳海绵，将其浸入ZnO纳米片分散液中，干燥后在惰性氛围中高温热处理，即得到ZnO纳米片/碳海绵柔性复合材料；该柔性复合材料可直接制备锂电池负极，无需导电剂和粘合剂。
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