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公开(公告)号：CN108793146A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810714966.X
申请日：2018-07-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 中国科学院大学
IPC: C01B32/194
CPC classification number: C01B32/194
Abstract: 本发明提供一种转移石墨烯的方法，包括以下步骤：提供一衬底；在所述衬底上生长石墨烯，形成石墨烯/衬底结构；在所述石墨烯上涂敷派瑞林，形成派瑞林/石墨烯/衬底结构；利用腐蚀液去除所述派瑞林/石墨烯/衬底结构中的所述衬底，形成派瑞林/石墨烯结构；将所述派瑞林/石墨烯结构翻转，形成石墨烯/派瑞林结构，完成所述石墨烯的转移。本发明采用派瑞林作为石墨烯的转移介质及支撑层，仅经过一次腐蚀液去除衬底后进行翻转，即可获得高质量、大面积、无损、洁净的石墨烯。
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公开(公告)号：CN109712777B
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN201910142222.X
申请日：2019-02-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 中国科学院大学
Abstract: 本发明提供一种滤波器、测试系统及滤波器的制备方法，滤波器包括：螺旋线圈，包括若干条双绞线，半数双绞线的绕线方向为顺时针方向，其余双绞线的绕线方向为逆时针方向；屏蔽盒，屏蔽盒包括盒体及盖体；盒体内形成有容纳槽，盒体的侧壁上形成有与容纳槽相连通的通孔；螺旋线圈位于容纳槽内；盖体封盖于盒体上；转接头，包括第一转接头及第二转接头；第一转接头位于盒体外侧，且经由通孔与螺旋线圈的一端电连接；第二转接头位于盒体外侧，且经由通孔与螺旋线圈的另一端电连接；屏蔽粉，屏蔽粉覆盖螺旋线圈并填满容纳槽。本发明滤波器可以过滤去除测试系统中的高频信号；屏蔽盒可以屏蔽外界磁信号对螺旋线圈的磁干扰，从而避免对测试信号造成影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109712777A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201910142222.X
申请日：2019-02-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 中国科学院大学
Abstract: 本发明提供一种滤波器、测试系统及滤波器的制备方法，滤波器包括：螺旋线圈，包括若干条双绞线，半数双绞线的绕线方向为顺时针方向，其余双绞线的绕线方向为逆时针方向；屏蔽盒，屏蔽盒包括盒体及盖体；盒体内形成有容纳槽，盒体的侧壁上形成有与容纳槽相连通的通孔；螺旋线圈位于容纳槽内；盖体封盖于盒体上；转接头，包括第一转接头及第二转接头；第一转接头位于盒体外侧，且经由通孔与螺旋线圈的一端电连接；第二转接头位于盒体外侧，且经由通孔与螺旋线圈的另一端电连接；屏蔽粉，屏蔽粉覆盖螺旋线圈并填满容纳槽。本发明滤波器可以过滤去除测试系统中的高频信号；屏蔽盒可以屏蔽外界磁信号对螺旋线圈的磁干扰，从而避免对测试信号造成影响。
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公开(公告)号：CN108862252A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810736450.5
申请日：2018-07-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 中国科学院大学
IPC: C01B32/186 , C01B32/194
Abstract: 本发明提供一种利用离子注入制备掺杂石墨烯的方法，所述方法包括，提供一衬底，于所述衬底上使用CVD工艺进行石墨烯生长，形成石墨烯层；于所述石墨烯层上形成一保护层，所述保护层完全覆盖所述石墨烯层；使用离子注入技术通过所述保护层向所述石墨烯层中注入掺杂元素；除去所述保护层，裸露出所述石墨烯层；使用CVD工艺对裸露出的所述石墨烯层进行石墨烯修复生长，以修复所述石墨烯中由于离子注入引起的缺陷，进而形成掺杂石墨烯层。利用本发明的技术方案，可制备可控掺杂量的n型或p型的高质量石墨烯，可通过控制注入区域，制备图案化掺杂的石墨烯；本发明的技术方案可适用于使用CVD工艺在衬底X上生长的石墨烯的掺杂，应用范围广。
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公开(公告)号：CN209328648U
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201920241271.4
申请日：2019-02-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 中国科学院大学
Abstract: 本实用新型提供一种滤波器及测试系统，滤波器包括：螺旋线圈，包括若干条双绞线，半数双绞线的绕线方向为顺时针方向，其余双绞线的绕线方向为逆时针方向；屏蔽盒，屏蔽盒包括盒体及盖体；盒体内形成有容纳槽，盒体的侧壁上形成有与容纳槽相连通的通孔；螺旋线圈位于容纳槽内；盖体封盖于盒体上；转接头，包括第一转接头及第二转接头；第一转接头位于盒体外侧，且经由通孔与螺旋线圈的一端电连接；第二转接头位于盒体外侧，且经由通孔与螺旋线圈的另一端电连接；屏蔽粉，屏蔽粉覆盖螺旋线圈并填满容纳槽。本实用新型滤波器可以过滤去除测试系统中的高频信号；屏蔽盒可以屏蔽外界磁信号对螺旋线圈的磁干扰，从而避免对测试信号造成影响。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN109841939A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201910099321.4
申请日：2019-01-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明的无源滤波器及其制备方法，该方法包括：提供绝缘衬底；于绝缘衬底的至少一面上形成金属导线，金属导线的一端为电磁波信号的输入端，另一端为电磁波信号的输出端；于金属导线表面及金属导线所在的绝缘衬底表面覆盖屏蔽粉层。通过改变金属导线的线宽及长度等参数可以改变无源滤波器的大小，增大无源滤波器的适用范围，使无源滤波器可以放入小型仪器中进行滤波；另外，使用半导体工艺中的金属剥离方法或掩膜版蒸镀金属方法形成金属导线，大大减小了金属导线的线宽及金属导线的间距，使无源滤波器做到更小；最后，工艺制备简单，易于实施。
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公开(公告)号：CN109799676A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201910160336.7
申请日：2019-03-04
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种柔性光刻胶软模板及其制备方法，制备方法包括：1)提供牺牲衬底，在牺牲衬底上形成光刻胶材料层；2)对光刻胶材料层进行图形化曝光处理及显影处理，以在牺牲衬底上形成光刻胶图形层；3)采用腐蚀液去除牺牲衬底，以获得柔性光刻胶软模板；4)提供目标衬底，将柔性光刻胶软模板转移到目标衬底上。本发明可以制备出纳米尺度的柔性光刻胶软模板，可大大提高模板精度，本发明的柔性光刻胶软模板精度与光刻精度相同。本发明将制备好的柔性光刻胶软模板转移至目标衬底，不会造成目标衬底上光刻胶残留，保证了目标衬底的洁净度。
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