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公开(公告)号：CN118258524A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202410387844.X
申请日：2024-04-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种谐振式压力传感器及其制备方法，包括以下步骤：提供一衬底，于衬底上表层形成间隔设置的拾振电阻及驱动电阻；于衬底上表层形成至少一包括谐振梁及振动间隙的谐振结构，谐振梁包括相连接的第一梁、第二梁及中间梁，驱动电阻及谐振电阻分别位于第一梁、第二梁上表层，振动间隙包括环绕谐振梁的刻蚀槽及位于谐振梁下方并与刻蚀槽相连通的底部空腔；于衬底上表面形成覆盖振动间隙开口及谐振梁上表面且边缘与振动间隙开口间隔第一预设距离的牺牲层、覆盖牺牲层的密封壳；于谐振结构正下方形成自衬底底面开口的凹槽且底部与振动间隙底部间隔第二预设距离；密封壳与振动间隙合围形成密封腔。本发明的压力传感器的制备方法降低了生产成本。
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