公开(公告)号：CN118924301A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202410990899.X

申请日：2024-07-23

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陶虎 ,  陶琛 ,  杨会然 ,  魏晓玲 ,  柳克印

IPC: A61B5/293 ,  A61B5/37 ,  A61B5/01 ,  A61B5/03 ,  A61B5/00

Abstract: 本发明涉及生物材料加工与脑功能探测领域，尤其涉及一种皮层电极的制备方法、皮层电极及电子器件，通过获取包含第一器件图形和第二器件图形开口区的硅基掩膜版以及第一蛋白膜，将第一蛋白膜与硅基掩膜版临时固定；第一蛋白膜为预拉伸的定向卷曲膜；以硅基掩膜版为掩膜，在第一蛋白膜表面蒸镀金属，以在第一蛋白膜上形成器件区域；器件区域包括压力传感器和温度传感器；将第一蛋白膜与硅基掩膜版分离；通过第二蛋白膜对第一蛋白膜的封装区域进行封装，得到目标皮层电极，本发明实现在体记录皮层神经电信号的同时实时监测颅内温和颅内压等关键数据，另外利用第一蛋白膜良好的可形变度，可保证压力传感器和温度传感器的器件稳定性。