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公开(公告)号：CN118482758A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410478410.0
申请日：2024-04-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种高精度多点测量土壤温湿度传感器及其应用，包括温湿度敏感单元、可复用电路阵列、覆盖保护层、温湿度检测电路、LoRa模块和显示模块。本发明可实现不同深度的土壤温湿度的同步多点测量，可以用于指导科学的合理调整灌溉的时间及灌溉水量，评估不同农作物对土壤水分的适应能力，从而选择更适合当前土壤水分状况的农作物种植；同时可以研究作物适宜的温度范围，帮助农民进行有效的农田有机肥施用，对提高作物的生长速度和质量，提高土壤利用率，尤其对干旱地区的社会经济发展具有重要意义。
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公开(公告)号：CN118482759A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410478411.5
申请日：2024-04-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种多点测量土壤湿度传感器及其应用，包括湿度敏感单元、可复用电路阵列、覆盖保护层、湿度检测电路、LoRa模块和显示模块。本发明可实现不同深度的土壤湿度的同步多点测量，可以用于指导合理调整灌溉的时间及灌溉水量，同时可以评估不同农作物对土壤水分的适应能力，从而选择更适合当前土壤水分状况的农作物种植；对提高作物的生长速度和质量，提高土壤利用率，尤其对干旱地区的发展具有重要意义。
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公开(公告)号：CN115901879A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211654021.6
申请日：2022-12-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种土壤温湿度传感器及其制备方法，包括湿度敏感单元、温度敏感单元、对温湿度敏感单元进行封装的覆盖层和与温湿度敏感单元相连接的印刷电路板。本发明通过MEMS金属溅射工艺，将金属溅射在玻璃上形成电极，可以有效的减少芯片的面积，且使芯片功能多样化；同时使用微小电容检测电路测量两个电极的差分输出，可准确得到因湿度敏感材料得到的电容变化值，而不受寄生电容影响；采用多孔材料进行封装，避免了土壤/沙粒直接与芯片上的受体材料发生任何类型的相互作用，具有良好的应用前景。
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