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公开(公告)号：CN102495119A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110379312.4
申请日：2011-11-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/333 , G01K7/16 , B81B7/04 , B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种多参数水质监测集成微阵列电极及制备方法，其特征在于所述的微阵列电极制作在氧化硅片上。该阵列电极衬底为Pt薄膜，光敏性聚酰亚胺为绝缘层，光刻将电极位点裸露出来，其他部分绝缘；采用电化学修饰的方法在裸露电极上电沉积Ag/AgCl和IrOx薄膜分别形成参比电极和pH测试电极，以实现对温度、氧化还原电位、电导率和pH的测定。制作包括微阵列电极的制作，Ag/AgCl参比电极的制备以及pH电极的制备。本发明所述微电极便于集成化和微型化。
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