Patent search ap:("中国科学院上海微系统与信息技术研究所") AND inv:"吕文倩" Page 1

1.

实用新型
用于圆片上光敏BCB显影的夹具失效

公开(公告)号：CN202736903U

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN201220413352.6

申请日：2012-08-17

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 孙晓玮 , 吕文倩 , 陈敏华 , 吴亮

IPC: H01L21/687

Abstract: 本实用新型涉及一种用于圆片上光敏BCB显影的夹具，其特征在于：该夹具包括手柄（1）、连接杆（2）、大圆环（4）、小圆环（5）以及若干固定连接杆（3），所述大圆环（4）与小圆环（5）平行设置并通过所述若干固定连接杆（3）连接；所述连接杆（2）一端与所述大圆环（4）连接，另一端与所述手柄（1）连接。本实用新型解决了现有光敏BCB显影操作麻烦，显影时间不能得到有效控制从而造成光敏BCB的显影不充分或者过显的问题，使光敏BCB显影操作更加简便，BCB显影的时间得以精确控制。

Patent Agency Ranking