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公开(公告)号：CN114488362A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210059779.9
申请日：2022-01-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提出了一种双面增透微结构的蓝宝石窗口及其制备方法，包括蓝宝石基板层，其特征在于在该蓝宝石基板层上表面制备第一微结构阵列，在该蓝宝石基板层下表面制备第二微结构阵列或者第一光学薄膜，所述第一微结构阵列和第二微结构阵列为一维光栅结构，凹槽深度为140nm‑220nm，715nm‑920nm波长范围内的透过率在98％以上。本发明方法能够使窗口在耐腐蚀、耐高温且高稳定性的同时提高透过率。本发明能有效降低在蓝宝石上的制备难度以及刻蚀难度。
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