公开(公告)号：CN103308175B

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201310250980.6

申请日：2013-06-21

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 曾爱军 ,  刘龙海 ,  邓柏寒 ,  朱玲琳 ,  黄惠杰

IPC: G01J4/04

Abstract: 一种线性双折射测量装置与方法，该装置包括光源模块和测量模块，光源模块由准直光源、起偏器、光弹调制器、光弹控制器和一维光栅组成，测量模块由两个检偏器、两个光电探测器、两个锁相放大器和计算机组成。本发明光源模块和测量模块位于待测双折射样品的同一端，可以通过单端扫描测量双折射样品的相位延迟量分布和快轴方位角分布，同时测量光束两次通过双折射样品，测量精度提高一倍。

公开(公告)号：CN102401630B

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201110363171.7

申请日：2011-11-16

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 刘龙海 ,  方瑞芳 ,  陈贝特 ,  熊超 ,  徐傲 ,  曾爱军 ,  黄惠杰

IPC: G01B9/023 ,  G02B5/30 ,  G02B1/10

Abstract: 一种空间移相菲索球面干涉仪，特点是在标准镜的入射面上镀有双折射薄膜，而且该标准镜的入射面为平面，出射面为球面，在第一分束器的反射光路上，设有第二分束器、第二准直透镜、达曼光栅、检偏器阵列、第二图像传感器和计算机，在所述的第二分束器的反射光方向设有第一图像传感器，以方便待测球面的调节，所述的计算机便于图像数据处理，本发明在可以实现对球面被测元件的面形测量。该空间移相菲索球面干涉仪可以获得具有一定移相量的多幅移相干涉图像。该空间移相菲索球面干涉仪采用圆偏振参考光和测量光，减小准直透镜和标准镜的残余双折射的影响。移相光路中不再使用四分之一波片，提高面形的测量精度。

公开(公告)号：CN103335821A

公开(公告)日：2013-10-02

申请号：CN201310250418.3

申请日：2013-06-21

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 曾爱军 ,  邓柏寒 ,  刘龙海 ,  朱玲琳 ,  黄惠杰

IPC: G01M11/02

Abstract: 一种四分之一波片相位延迟量的测量装置和测量方法，该装置由准直光源、圆起偏器、光弹调制器、圆检偏器、光电探测器、光弹控制器、锁相放大器和计算机组成。本发明只需一个光弹调制器即可测量四分之一波片的相位延迟量，只需要一个锁相放大器，装置简单，结构紧凑，操作方便。

公开(公告)号：CN103308175A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310250980.6

申请日：2013-06-21

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 曾爱军 ,  刘龙海 ,  邓柏寒 ,  朱玲琳 ,  黄惠杰

IPC: G01J4/04

Abstract: 一种线性双折射测量装置与方法，该装置包括光源模块和测量模块，光源模块由准直光源、起偏器、光弹调制器、光弹控制器和一维光栅组成，测量模块由两个检偏器、两个光电探测器、两个锁相放大器和计算机组成。本发明光源模块和测量模块位于待测双折射样品的同一端，可以通过单端扫描测量双折射样品的相位延迟量分布和快轴方位角分布，同时测量光束两次通过双折射样品，测量精度提高一倍。

公开(公告)号：CN103033478A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201210563666.9

申请日：2012-12-21

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 曾爱军 ,  刘龙海 ,  朱玲琳 ,  郑乐行 ,  黄惠杰

IPC: G01N21/23

Abstract: 一种用于样品的双折射实时测量装置和测量方法，其特点在于该装置由准直光源、圆起偏器、分光镜、第一渥拉斯顿棱镜、第二渥拉斯顿棱镜、第一双象限探测器、第二双象限探测器和信号处理单元组成。本发明能实时测量样品的双折射，测量结果不受光源光强波动的影响。

公开(公告)号：CN102519712A

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN201110433699.7

申请日：2011-12-21

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 方瑞芳 ,  曾爱军 ,  刘龙海 ,  朱玲琳 ,  袁乔 ,  黄惠杰

IPC: G01M11/02

Abstract: 一种八分之一波片相位延迟量的测量装置和测量方法，装置包括准直光源，特点在于其构成是：沿所述的准直光源发出的光束前进方向上，依次是偏振分光镜、四分之一波片、八分之一波片的插口、反射镜，在所述的偏振分光镜的反射光束方向上放置第一光电探测器，在垂直于入射光并与所述的第一光电探测器相反的方向放置第二光电探测器，所述的第一光电探测器和第二光电探测器的输出端接信号处理单元的输入端，所述的四分之一波片的快轴与所述的偏振分光镜的透光轴所成的角度为45°。实验表明，本发明具有结构简单、测量速度快和测量精度高的特点。

公开(公告)号：CN102519712B

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201110433699.7

申请日：2011-12-21

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 方瑞芳 ,  曾爱军 ,  刘龙海 ,  朱玲琳 ,  袁乔 ,  黄惠杰

IPC: G01M11/02

Abstract: 一种八分之一波片相位延迟量的测量装置和测量方法，装置包括准直光源，特点在于其构成是：沿所述的准直光源发出的光束前进方向上，依次是偏振分光镜、四分之一波片、八分之一波片的插口、反射镜，在所述的偏振分光镜的反射光束方向上放置第一光电探测器，在垂直于入射光并与所述的第一光电探测器相反的方向放置第二光电探测器，所述的第一光电探测器和第二光电探测器的输出端接信号处理单元的输入端，所述的四分之一波片的快轴与所述的偏振分光镜的透光轴所成的角度为45°。实验表明，本发明具有结构简单、测量速度快和测量精度高的特点。

公开(公告)号：CN102937515B

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201210506361.4

申请日：2012-11-30

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 曾爱军 ,  王健 ,  刘龙海 ,  郑乐行 ,  黄惠杰

IPC: G01M11/02

Abstract: 一种正弦相位调制器峰值延迟量的标定装置和标定方法，其特点在于，该装置由激光光源、偏振分光棱镜、波片、反射镜、光电探测器、控制器、锁相放大器和计算机组成。本发明具有结构紧凑、装置简单、操作方便的特点，能标定小于半个波长的峰值延迟量，而且标定精度高。

公开(公告)号：CN102937515A

公开(公告)日：2013-02-20

申请号：CN201210506361.4

申请日：2012-11-30

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 曾爱军 ,  王健 ,  刘龙海 ,  郑乐行 ,  黄惠杰

IPC: G01M11/02

Abstract: 一种正弦相位调制器峰值延迟量的标定装置和标定方法，其特点在于，该装置由激光光源、偏振分光棱镜、波片、反射镜、光电探测器、控制器、锁相放大器和计算机组成。本发明具有结构紧凑、装置简单、操作方便的特点，能标定小于半个波长的峰值延迟量，而且标定精度高。

公开(公告)号：CN102706809A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201210193165.6

申请日：2012-06-12

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 曾爱军 ,  陈贝石 ,  刘龙海 ,  郑乐行 ,  朱玲琳 ,  黄惠杰

IPC: G01N21/23 ,  G01B11/26

Abstract: 一种线性双折射测量装置和测量方法，该装置由光强调制的准直光源、圆起偏器、沃拉斯顿棱镜、双象限探测器和信号处理单元组成，上述元部件的位置关系是：沿所述的光强调制的准直光源输出的光束前进方向上，依次是所述的圆起偏器、沃拉斯顿棱镜和双象限探测器，所述的双象限探测器的输出端与所述的信号处理单元的输入端相连，在所述的圆起偏器和沃拉斯顿棱镜之间设置待测线性双折射样品的插口。本发明装置结构简单、测量操作方便，能同时测量线性双折射样品的相位延迟量和快轴方位角，测量结果不受光源光强波动的影响。