一种用于原位表征实验的流延成膜装备

    公开(公告)号:CN118752821A

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN202410740599.6

    申请日:2024-06-07

    Abstract: 本发明公开了一种用于原位表征实验的流延成膜装置,包括主体装置,主体装置包括:成膜腔体;钢带传动系统;探测器组件;倾斜旋转平台,成膜腔体设置在倾斜旋转平台上,倾斜旋转平台可向两侧倾斜;底部运动平台,底部运动平台包括支撑底座组件和滑动框架组件,滑动框架组件可滑动地设置在支撑底座组件上,倾斜旋转平台可倾斜旋转地设置在滑动框架组件上。本发明通过倾斜旋转平台的倾斜使X射线入射到流延膜表面,通过滑动框架组件的滑动使成膜腔体整体移动,以使X射线入射到流延膜的不同点位,本发明实现了对水平布置的钢带传动系统的原位表征实验,从而获取流延成膜过程的结构演化信息,有助于优化流延成膜工艺,开发新的薄膜产品。

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