公开(公告)号：CN120041101A

公开(公告)日：2025-05-27

申请号：CN202510186127.5

申请日：2025-02-20

Applicant: 中国矿业大学(北京)

Inventor： 程洁 ,  刘丁未 ,  邓久帅 ,  张志军 ,  高硕

IPC: C09G1/02 ,  H01L21/28

Abstract: 本发明涉及化学机械抛光技术领域，本发明公开了一种用于芯片高K介质金属栅钌栅平坦化的抛光液及其制备方法与应用，包含以下浓度组分：氧化铝磨粒0.05～0.2wt％；氧化剂0.05～0.2wt％；络合剂20～80mmol/L；去离子水；所述络合剂为DTPA(NH4)5复合型络合剂；本发明制备的抛光液能有效提高钌栅化学机械抛光过程中的去除速率，同时确保抛光后的钌栅表面具有纳米级的表面粗糙度和无缺陷特性，解决由于钌的高硬度，高化学惰性导致的抛光速率低的问题，实现钌栅的高质量表面加工。

公开(公告)号：CN117568758B

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202311285578.1

申请日：2023-10-07

Applicant: 中国矿业大学(北京)

Inventor： 程洁 ,  刘丁未 ,  邓久帅 ,  王书鹏 ,  范磊

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/08 ,  C23C14/16 ,  C23C14/58 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明公开了一种含贻贝足丝蛋白的复合涂层材料及其制备方法，对碳钢表面进行清洗，去除表层氧化膜；采用直流磁控溅射在碳钢表面制备TiO2层；采用直流磁控溅射在碳钢表面制备Ag层；以碳钢表面含有的TiO2/Ag膜为前驱体膜，利用均胶机在前驱体膜上旋涂一层Mefp‑1蛋白溶液，得到用于碳钢表面的Mefp‑1/TiO2/Ag复合涂层。TiO2涂层主要起到防腐作用，Ag涂层具有优异的耐磨特性，两种涂层在防腐耐磨领域都属于环保材料，用于替代有害化学物质。Mefp‑1蛋白对于提升碳钢的防腐耐磨特性均有一定作用，且极大的增强磁控溅射涂层的粘附性，使磁控溅射涂层的防护性能成倍增加。本发明在可以有效改善碳钢防腐性、耐磨的前提下，还具有操作简单，成本低廉等优势。

公开(公告)号：CN117568758A

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202311285578.1

申请日：2023-10-07

Applicant: 中国矿业大学(北京)

Inventor： 程洁 ,  刘丁未 ,  邓久帅 ,  王书鹏 ,  范磊

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/08 ,  C23C14/16 ,  C23C14/58 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明公开了一种含贻贝足丝蛋白的复合涂层材料及其制备方法，对碳钢表面进行清洗，去除表层氧化膜；采用直流磁控溅射在碳钢表面制备TiO2层；采用直流磁控溅射在碳钢表面制备Ag层；以碳钢表面含有的TiO2/Ag膜为前驱体膜，利用均胶机在前驱体膜上旋涂一层Mefp‑1蛋白溶液，得到用于碳钢表面的Mefp‑1/TiO2/Ag复合涂层。TiO2涂层主要起到防腐作用，Ag涂层具有优异的耐磨特性，两种涂层在防腐耐磨领域都属于环保材料，用于替代有害化学物质。Mefp‑1蛋白对于提升碳钢的防腐耐磨特性均有一定作用，且极大的增强磁控溅射涂层的粘附性，使磁控溅射涂层的防护性能成倍增加。本发明在可以有效改善碳钢防腐性、耐磨的前提下，还具有操作简单，成本低廉等优势。