公开(公告)号：CN115586348A

公开(公告)日：2023-01-10

申请号：CN202211122248.6

申请日：2022-09-15

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 董显山 ,  黄鑫龙 ,  周斌 ,  黄钦文 ,  苏伟 ,  黄一雄 ,  路国光 ,  黄云

IPC: G01P21/00

Abstract: 本申请涉及一种电容失配检测电路、方法和检测设备。所述电容失配检测电路与加速度计的差分电容结构连接，电容失配检测电路包括输入电路和控制器；输入电路分别与差分电容结构的上极板和差分电容结构的下极板连接，控制器的输出端与输入电路连接，控制器的输入端与差分电容结构的中间极板连接；输入电路，用于获取输入信号，并根据输入信号在差分电容结构的上下极板施加电压；控制器，用于获取差分电容结构的中间极板的输出信号，并在输出信号符合预设条件的情况下，根据输入信号确定差分电容结构的电容失配量化值。采用电容失配检测电路能够实现对电容式MEMS加速度计的本征电容失配值进行检测。

公开(公告)号：CN114623790A

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202210106344.5

申请日：2022-01-28

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 李仕远 ,  董显山 ,  苏伟 ,  黄钦文 ,  黄一雄 ,  黄云 ,  路国光

IPC: G01B21/08

Abstract: 本申请涉及一种薄膜厚度测量装置、方法、计算机设备和存储介质。所述装置包括：样品固定模块、尺寸测量模块、谐振频率测量模块和处理模块，处理模块分别与尺寸测量模块和谐振频率测量模块连接；样品固定模块用于对预定形状的薄膜样品的所有边进行固定，以使薄膜样品的所有边上的挠度和转角均为0；尺寸测量模块用于测量薄膜样品的平面几何尺寸；谐振频率测量模块用于测量薄膜样品的谐振频率；处理模块用于接收外部输入以获取对应薄膜样品的材料物性参数，并根据薄膜样品的谐振频率、平面几何尺寸和材料物性参数得到薄膜样品的厚度。采用本方法测量薄膜厚度的过程无需破坏薄膜样品，准确度较高，同时对薄膜样品的透光性无要求，适应范围广。

公开(公告)号：CN114623790B

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202210106344.5

申请日：2022-01-28

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 李仕远 ,  董显山 ,  苏伟 ,  黄钦文 ,  黄一雄 ,  黄云 ,  路国光

IPC: G01B21/08

Abstract: 本申请涉及一种薄膜厚度测量装置、方法、计算机设备和存储介质。所述装置包括：样品固定模块、尺寸测量模块、谐振频率测量模块和处理模块，处理模块分别与尺寸测量模块和谐振频率测量模块连接；样品固定模块用于对预定形状的薄膜样品的所有边进行固定，以使薄膜样品的所有边上的挠度和转角均为0；尺寸测量模块用于测量薄膜样品的平面几何尺寸；谐振频率测量模块用于测量薄膜样品的谐振频率；处理模块用于接收外部输入以获取对应薄膜样品的材料物性参数，并根据薄膜样品的谐振频率、平面几何尺寸和材料物性参数得到薄膜样品的厚度。采用本方法测量薄膜厚度的过程无需破坏薄膜样品，准确度较高，同时对薄膜样品的透光性无要求，适应范围广。