公开(公告)号：CN116642915A

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN202310716109.4

申请日：2023-06-16

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 王刚 ,  李潮 ,  石高明 ,  师谦

IPC: G01N23/2204 ,  G01N23/2202

Abstract: 本申请涉及一种承载装置、样品制备设备及样品制备方法，承载装置包括样品台，样品台具有支撑面及凸设于支撑面上的支撑部；样品台上贯穿开设容置通道，容置通道的一端延伸至支撑面。本申请将样品通过支撑部支撑于样品台的支撑面上，通过抽真空的方式使样品与支撑面之间的间隙中的填充物进入容置通道内，从而在样品面向支撑面的一侧形成一层保护层，由此，形成透射样品后，透射样品的上表面通过沉积离子束对上表面的结构及信息进行保护，而透射样品的下表面通过形成的保护层进行保护，从而能够对透射样品的双面进行更全面的信息保护，便于观察及分析。

公开(公告)号：CN116642915B

公开(公告)日：2023-11-03

申请号：CN202310716109.4

申请日：2023-06-16

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 王刚 ,  李潮 ,  石高明 ,  师谦

IPC: G01N23/2204 ,  G01N23/2202

Abstract: 本申请涉及一种承载装置、样品制备设备及样品制备方法，承载装置包括样品台，样品台具有支撑面及凸设于支撑面上的支撑部；样品台上贯穿开设容置通道，容置通道的一端延伸至支撑面。本申请将样品通过支撑部支撑于样品台的支撑面上，通过抽真空的方式使样品与支撑面之间的间隙中的填充物进入容置通道内，从而在样品面向支撑面的一侧形成一层保护层，由此，形成透射样品后，透射样品的上表面通过沉积离子束对上表面的结构及信息进行保护，而透射样品的下表面通过形成的保护层进行保护，从而能够对透射样品的双面进行更全面的信息保护，便于观察及分析。