公开(公告)号：CN104020313A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201410263417.7

申请日：2014-06-16

Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所

Inventor： 唐彬 ,  席仕伟 ,  姚明秋 ,  程永生 ,  李玉萍 ,  王旭光 ,  沈朝阳 ,  谭刚

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供了一种全金属电容极板微加速度传感器。所述的传感器为三层全金属结构，包括动极板和上、下固定极板；其中，动极板包含锚点、质量块、悬臂梁、框架。其连接关系是，所述的锚点与悬臂梁固定连接；悬臂梁和质量块固定连接，构成敏感芯片的可动部分；锚点和框架固定连接；质量块与上、下固定极板之间存在间隙，间隙上、下表面均为全金属结构；所述的上固定极板与动极板锚点上表面通过键合连接；所述的下固定极板与锚点下表面通过键合连接。本发明的键合采用热压键合完成，质量块与上、下极板间的空隙可以灵活精确控制。

公开(公告)号：CN104020313B

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：CN201410263417.7

申请日：2014-06-16

Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所

Inventor： 唐彬 ,  席仕伟 ,  姚明秋 ,  程永生 ,  李玉萍 ,  王旭光 ,  沈朝阳 ,  谭刚

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供了一种全金属电容极板微加速度传感器。所述的传感器为三层全金属结构，包括动极板和上、下固定极板；其中，动极板包含锚点、质量块、悬臂梁、框架。其连接关系是，所述的锚点与悬臂梁固定连接；悬臂梁和质量块固定连接，构成敏感芯片的可动部分；锚点和框架固定连接；质量块与上、下固定极板之间存在间隙，间隙上、下表面均为全金属结构；所述的上固定极板与动极板锚点上表面通过键合连接；所述的下固定极板与锚点下表面通过键合连接。本发明的键合采用热压键合完成，质量块与上、下极板间的空隙可以灵活精确控制。

公开(公告)号：CN203909067U

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN201420315796.5

申请日：2014-06-16

Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所

Inventor： 唐彬 ,  席仕伟 ,  姚明秋 ,  程永生 ,  李玉萍 ,  王旭光 ,  沈朝阳 ,  谭刚

IPC: G01P15/125

Abstract: 本实用新型提供了一种全金属电容极板微加速度传感器。所述的传感器为三层全金属结构，包括动极板和上、下固定极板；其中，动极板包含锚点、质量块、悬臂梁、框架。其连接关系是，所述的锚点与悬臂梁固定连接；悬臂梁和质量块固定连接，构成敏感芯片的可动部分；锚点和框架固定连接；质量块与上、下固定极板之间存在间隙，间隙上、下表面均为全金属结构；所述的上固定极板与动极板锚点上表面通过键合连接；所述的下固定极板与锚点下表面通过键合连接。本实用新型的键合采用热压键合完成，质量块与上、下极板间的空隙可以灵活精确控制。