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公开(公告)号：CN110441035B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN201910772671.2
申请日：2019-08-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了大口径倍频晶体o光e光与边缘平行度测量装置及方法，属于光学测量领域，本发明包括：发射器组件，用于发出一束垂直偏振光；分光镜，用于将所述垂直偏振光分为第一光束、第二光束；第一探测器，用于记录第一光束的参量；第二光路，所述第二光路包括依次设置的起偏器、待测晶体、以及与所述起偏器正交布置的检偏器，还包括用于驱动所述起偏器和/或检偏器分别绕起偏器/或检偏器的轴线转动的旋转组件；第二探测器，用于记录第二光束通过第二光路后的参量；其中，所述第一光束与第二光束之间的参量变化限定所述垂直偏振光，本发明可极大地消除了用于发射激光的激光器功率随时间变化的影响。
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公开(公告)号：CN116007908B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310306311.X
申请日：2023-03-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种大口径平板元件高透反射率及不均匀性测量装置及方法，属于光学测量领域中的大口径光学元器件的测量，其目的在于解决现有技术中大口径平板元件的高透反射率以及不均匀性测量误差较大的技术问题。其将用于大口径待测高透射镜的角度旋转、用于第一高反透射镜位置旋转设置为同轴机构，且在待测样品一侧增设第一高反透射镜，激光器产生的激光经分光镜后形成探测光和参考光，探测光以小角度入射至高反射镜，探测光在元件上产生两次反射或透射，同步采集卡最后采集参考光、探测光的光强，从而可将测量误差降低一倍，提高了测量精度，可用于大口径待测高透射镜的反射率或透射率及其空间不均匀性的高精度测量。
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公开(公告)号：CN116007908A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202310306311.X
申请日：2023-03-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种大口径平板元件高透反射率及不均匀性测量装置及方法，属于光学测量领域中的大口径光学元器件的测量，其目的在于解决现有技术中大口径平板元件的高透反射率以及不均匀性测量误差较大的技术问题。其将用于大口径待测高透射镜的角度旋转、用于第一高反透射镜位置旋转设置为同轴机构，且在待测样品一侧增设第一高反透射镜，激光器产生的激光经分光镜后形成探测光和参考光，探测光以小角度入射至高反射镜，探测光在元件上产生两次反射或透射，同步采集卡最后采集参考光、探测光的光强，从而可将测量误差降低一倍，提高了测量精度，可用于大口径待测高透射镜的反射率或透射率及其空间不均匀性的高精度测量。
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公开(公告)号：CN110227968B
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201910410490.5
申请日：2019-05-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了基于小波变换的磁流变去除函数寄生条纹消除方法及装置，该方法能够准确去除寄生条纹，达到磁流变去除函数的精确提取，适用范围广，对于传统频域带阻滤波无法解决的寄生条纹和原始数据频谱严重混叠的情况，仍然适用，是一种较好的寄生条纹去除方法，可以有效应用于消除磁流变去除函数寄生条纹，实现磁流变去除函数的准确提取。同时也可以较好的用于其它超精密加工方式,如气囊抛光、离子束抛光等的去除函数寄生条纹的消除，便于推广应用。
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公开(公告)号：CN111122507A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911077253.8
申请日：2019-11-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种基于离散小波变换的光学平板波前的降噪方法和装置，所述方法包括对含噪波前位相Wo进行预处理，得到扩展矩阵W；对扩展矩阵W进行二维离散小波分解，得到系数向量Co；基于滤除层序号数N对系数向量Co进行阈值降噪，得到降噪后的系数向量Ct；基于降噪后的系数向量Ct进行二维离散小波重构，得到降噪后扩展矩阵W'；对降噪后扩展矩阵W'进行后处理，得到降噪后波前位相Wt。本发明提供的基于离散小波变换的光学平板波前的降噪方法和装置，不需要额外硬件，不增加特殊调整步骤，可有效滤除高精度平板干涉测量时寄生干涉现象引入的噪声位相。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109932826A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201910354065.9
申请日：2019-04-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种用于光学元件缺陷检测的拼接式条形激光装置，涉及光学元件检测装置技术领域，本发明包括若干组水平布置的光束形成机构，光束形成机构均包括从右到左依次布置的基础光源、准直透镜、扩束凹镜和柱面准直镜，准直透镜为平凸柱面透镜A，平凸柱面透镜A的平面一端靠近基础光源，扩束凹镜为平凹柱面透镜A，柱面准直镜包括组合在一起的平凹柱面透镜B和平凸柱面透镜B，平凹柱面透镜B的平面一端靠近平凹柱面透镜A，平凸柱面透镜B的平面一端靠近平凹柱面透镜B，平凸柱面透镜B的凸面为出光面，本发明具有加工成本低、加工难度低、输出光束质量高的优点。
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公开(公告)号：CN111256959B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202010172017.0
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于计算全息测量透镜焦距的方法，包括如下步骤：CGH的设计，根据透镜前后表面的曲率半径、中心厚、透镜的材质以及透镜与CGH的间距，得出CGH各环带半径参数，制作CGH；背景波前的获取，采用平面干涉仪，多次测量CGH的0级波前，取平均为背景波前；透镜与CGH的间距的获取，采用平面干涉仪，多次测量透镜的波前，同时测量透镜与CGH的间距，将各透射波前减去背景波前，计算离焦量‑间距关系，得到最优间距；透镜焦距获取，测量CGH的1级曲率半径，根据CGH的1级曲率半径以及透镜与CGH的间距，得透镜的焦距。本发明实现了长焦透镜焦距的高精度检测，缩短了整体检测光路长度，提升了抗环境干扰能力。
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公开(公告)号：CN106018345B
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201610349666.7
申请日：2016-05-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/45
Abstract: 本发明公开了一种基于短相干的光学平板玻璃折射率测量系统及方法，该系统包括迈克尔逊干涉仪，由短相干光源、分光棱镜、参考反射镜、和半透半反镜组成迈克耳逊干涉光路，利用迈克耳逊干涉光路等臂原理,参考反射镜可前后移动从而匹配半透板反镜与反射镜之间光程,通过光栅尺测量参考镜移动距离则可计算出半透半反镜与反射镜间光程。分别测量放入样品前后半透半反镜与反射镜间光程和测量旋转样品一定角度后半透半反镜与反射镜间光程，从而可计算得到样品的折射率。本装置结构简单，回避了测量光学玻璃物理厚度，实现了光学玻璃折射率的高精度测量，提出采用迭代的方法，可快速计算出光学玻璃折射率。
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公开(公告)号：CN106441816B
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201610951248.5
申请日：2016-10-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种计算全息法测量长焦距透镜透射波前的检测装置及检测方法，属于光学测量技术领域。其主要由干涉仪、被测长焦距透镜和菲涅尔波带片组成菲索干涉光路，干涉仪输出的准直平行光通过标准平面镜时，一束由标准平面镜参考面反射形成标准参考光束，另一束透过被测长焦距透镜透射、经波带片反射沿原路返回形成测试光束；测试光束与标准参考光束发生干涉，调整被测长焦距透镜，使干涉条纹最少，即可测量得到被测长焦距透镜的透射波前。本发明适用于长焦距透镜的透射波前的检测。
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公开(公告)号：CN109932826B
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN201910354065.9
申请日：2019-04-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种用于光学元件缺陷检测的拼接式条形激光装置，涉及光学元件检测装置技术领域，本发明包括若干组水平布置的光束形成机构，光束形成机构均包括从右到左依次布置的基础光源、准直透镜、扩束凹镜和柱面准直镜，准直透镜为平凸柱面透镜A，平凸柱面透镜A的平面一端靠近基础光源，扩束凹镜为平凹柱面透镜A，柱面准直镜包括组合在一起的平凹柱面透镜B和平凸柱面透镜B，平凹柱面透镜B的平面一端靠近平凹柱面透镜A，平凸柱面透镜B的平面一端靠近平凹柱面透镜B，平凸柱面透镜B的凸面为出光面，本发明具有加工成本低、加工难度低、输出光束质量高的优点。
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