公开(公告)号：CN108838548A

公开(公告)日：2018-11-20

申请号：CN201811043552.5

申请日：2018-09-07

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 许乔 ,  王度 ,  李亚国 ,  袁志刚 ,  金会良 ,  耿锋 ,  刘志超 ,  欧阳升 ,  刘朋朋 ,  王健 ,  张清华

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/067 ,  B23K26/402 ,  C03B25/00

Abstract: 本申请实施例提供一种激光抛光装置及抛光方法，涉及抛光技术领域。其中，所述装置通过分束器将激光器发出的初始光束分为第一光束、第二光束和第三光束，然后通过扫描器接收所述第一光束、第二光束和第三光束，并将所述第一光束、第二光束和第三光束投射到待加工元件，在待加工元件上形成第一光束对应的预热光斑、第二光束对应的抛光光斑以及第三光束对应的退火光斑，实现了在抛光处理的同时对待加工元件进行预热和退火，避免了在对玻璃等脆性材料进行抛光的过程中由于温度梯度较大产生热应力导致加工元件产生裂纹。