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公开(公告)号：CN117697166B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410168538.7
申请日：2024-02-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Inventor： 何伟
IPC: B23K26/362 , B23K26/70 , B23K26/03 , B23K37/04
Abstract: 本发明公开了一种在金属薄膜表面利用激光刻蚀有机膜的方法，涉及激光刻蚀领域，包括：S1、将圆盘旋转组件固定在系统的工作台上，将待刻蚀样品通过工装、掩模板固定在圆盘旋转组件上；S2、调节脉冲激光器输出加工激光光束的位置和/或角度，以将光斑定位在待刻蚀样品的待刻蚀区域；S3、调节探测激光器输出探测激光光束的位置和/或角度，使探测激光光束沿预定角度到达待刻蚀区域后形成的反射光束，光功率探测器通过滤光片收集反射光束；S4、外部终端通过光功率探测器反馈的功率探测值对有机膜的刻蚀程度进行在线监测。本发明提供一种在金属薄膜表面利用激光刻蚀有机膜的方法，使用不同波长激光作为加工激光和探测激光，不存在干扰的同时便于在线实时监测。
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公开(公告)号：CN117697166A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202410168538.7
申请日：2024-02-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Inventor： 何伟
IPC: B23K26/362 , B23K26/70 , B23K26/03 , B23K37/04
Abstract: 本发明公开了一种在金属薄膜表面利用激光刻蚀有机膜的方法，涉及激光刻蚀领域，包括：S1、将圆盘旋转组件固定在系统的工作台上，将待刻蚀样品通过工装、掩模板固定在圆盘旋转组件上；S2、调节脉冲激光器输出加工激光光束的位置和/或角度，以将光斑定位在待刻蚀样品的待刻蚀区域；S3、调节探测激光器输出探测激光光束的位置和/或角度，使探测激光光束沿预定角度到达待刻蚀区域后形成的反射光束，光功率探测器通过滤光片收集反射光束；S4、外部终端通过光功率探测器反馈的功率探测值对有机膜的刻蚀程度进行在线监测。本发明提供一种在金属薄膜表面利用激光刻蚀有机膜的方法，使用不同波长激光作为加工激光和探测激光，不存在干扰的同时便于在线实时监测。
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公开(公告)号：CN105220261B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201510632770.2
申请日：2015-09-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 华南理工大学
IPC: D01F6/70 , C08G18/76 , C08G18/66 , C08G18/65 , C08G18/42 , C08G18/48 , C08G18/69 , C08G18/44 , C08G18/32 , C08G18/10
Abstract: 本发明提供了一种用于Z箍缩丝阵负载的自适应纤维及其制备方法。该自适应纤维的原料包括：分子量为500至10000的脂肪族低聚物二醇、高对称性芳香族二异氰酸酯和高对称性芳香族二胺类化合物。该自适应纤维首先采用一定摩尔数的脂肪族低聚物二醇与两倍于二醇摩尔数的高对称性芳香族二异氰酸酯进行预聚，然后用高对称性芳香族二胺进行扩链制成纺丝原液；最后采用溶液干法、溶液湿法两种方法中的任意一种进行纺丝成型加工。该自适应纤维中硬链段内部的内聚能密度高，硬链段结合力强，尺寸稳定性高，回弹性好且应力稳定性高。该自适应纤维在整个服役期间，不会出现明显的应力松弛，且回弹应力也能长期保持不变。
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公开(公告)号：CN106185794A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610710629.4
申请日：2016-08-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00 , B81C1/00349
Abstract: 本发明公开了一种多孔阵列聚甲基丙烯酸甲酯模板及其制备方法，该模板具有良好的溶解性，适用于制备脱模的金属微纳米线阵列材料；该制备方法是在拉丝装置中对聚甲基丙烯酸甲酯和聚苯乙烯组成的预制棒进行一级热拉伸，然后对制得的一级复合丝进行紧密堆积固定，再进行二级热拉伸，之后对制得的二级复合丝进行紧密堆积固定后再进行三级热拉伸，最后对复合丝进行切片和溶解处理。该制备方法所需的设备简单，原料易得，生产成本低，环境污染小，可重复性强，适于连续大批量生产，能够在较大范围内调节多孔阵列聚甲基丙烯酸甲酯模板的孔径、孔间距、孔深及多孔阵列的面积，极大地提高了根据应用需求设计和组建多种微纳米有序阵列材料的能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105220261A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510632770.2
申请日：2015-09-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 华南理工大学
IPC: D01F6/70 , C08G18/76 , C08G18/66 , C08G18/65 , C08G18/42 , C08G18/48 , C08G18/69 , C08G18/44 , C08G18/32 , C08G18/10
Abstract: 本发明提供了一种用于Z箍缩丝阵负载的自适应纤维及其制备方法。该自适应纤维的原料包括：分子量为500至10000的脂肪族低聚物二醇、高对称性芳香族二异氰酸酯和高对称性芳香族二胺类化合物。该自适应纤维首先采用一定摩尔数的脂肪族低聚物二醇与两倍于二醇摩尔数的高对称性芳香族二异氰酸酯进行预聚，然后用高对称性芳香族二胺进行扩链制成纺丝原液；最后采用溶液干法、溶液湿法两种方法中的任意一种进行纺丝成型加工。该自适应纤维中硬链段内部的内聚能密度高，硬链段结合力强，尺寸稳定性高，回弹性好且应力稳定性高。该自适应纤维在整个服役期间，不会出现明显的应力松弛，且回弹应力也能长期保持不变。
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公开(公告)号：CN103482565B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201310420638.6
申请日：2013-09-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种多孔阵列聚乙烯模板的制备方法。所述的制备方法是在拉丝装置中对聚乙烯和聚苯乙烯组成的预制棒进行一级热拉伸，然后对制得的一级拉伸复合丝进行紧密堆积固定，再进行二级热拉伸，可对制得的二级拉伸复合丝进行紧密堆积固定后再进行三级热拉伸，最后对复合丝进行切片和溶解处理。所述多孔阵列聚乙烯模板的孔径可以在几十纳米到几十微米之间调节，孔间距可以在几百纳米到几十微米之间调节。本发明的制备方法能够对多孔阵列聚乙烯模板的结构尺寸进行调控，生产成本低，可重复性好，能够连续生产。
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公开(公告)号：CN103482565A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310420638.6
申请日：2013-09-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种多孔阵列聚乙烯模板的制备方法。所述的制备方法是在拉丝装置中对聚乙烯和聚苯乙烯组成的预制棒进行一级热拉伸，然后对制得的一级拉伸复合丝进行紧密堆积固定，再进行二级热拉伸，可对制得的二级拉伸复合丝进行紧密堆积固定后再进行三级热拉伸，最后对复合丝进行切片和溶解处理。所述多孔阵列聚乙烯模板的孔径可以在几十纳米到几十微米之间调节，孔间距可以在几百纳米到几十微米之间调节。本发明的制备方法能够对多孔阵列聚乙烯模板的结构尺寸进行调控，生产成本低，可重复性好，能够连续生产。
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公开(公告)号：CN202897774U
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201220571394.2
申请日：2012-11-02
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B66C1/10
Abstract: 本实用新型提供了一种光学元件夹持装置，所述的装置适用于多种规格、形状的光学元件使用。本实用新型中的吊装梁包括调节开关、吊装孔和封板栓；夹持梁包括夹持“U”形槽、夹持定位孔和夹持滑槽；承重梁、包括承重“U”形槽、承重定位槽和承重滑槽。所述吊装梁通过吊装梁的调节开关与夹持梁固定连接；所述承重梁通过定位栓与夹持梁固定连接。本实用新型具有规格的可调节性，保持了光学元件在运输、储存、转运、检验和表面观察等操作过程中的洁净传递，实现了光学元件通光面的无接触操作，保护了光学元件在夹持过程中受力均匀，不易产生附加的污染和应力。本实用新型装置中的封板可以单独拆卸，不影响夹持装置在各工艺节点的使用。
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公开(公告)号：CN220612660U
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202420283327.3
申请日：2024-02-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Inventor： 何伟
IPC: B23K26/362 , B23K26/70 , B23K37/04
Abstract: 本实用新型公开了一种用于激光刻蚀的圆盘旋转组件，涉及激光加工设备领域，包括由伺服电机、减速机、联轴器组成的驱动单元，还包括：与驱动单元的旋转轴传动连接的圆盘式样品装夹板；按预定间距设置在样品装夹板盘面上，以对待刻蚀样品进行固定的工装；通过定位组件设置在样品装夹板盘面上的环形掩模板；其中，所述环形掩模板上设置多个通孔，各通孔在空间上与各待刻蚀样品上的待刻蚀区域相匹配。本实用新型提供一种用于激光刻蚀的圆盘旋转组件，相对于现有的加工技术来说，可以实现对金属表面有机膜的刻蚀的批量加工，通过掩模板的设计使得其能对加工区域进行精确控制。
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