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公开(公告)号：CN106712745B
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN201710189821.8
申请日：2017-03-28
Applicant: 中国工程物理研究院流体物理研究所
Abstract: 本发明涉及电脉冲产生领域、生物医学和食品加工领域，针对现有技术存在的问题，提供一种复合高压脉冲电场、电场灭菌装置及方法。通过集成电参数检测与波形参数控制于一体的触发控制电路触发微秒高压脉冲形成电路、纳秒高压脉冲形成电路，使其按照设定的脉冲波形参数和时序输出微秒、纳秒高压脉冲信号，共同加载到灭菌处理器上，在灭菌处理器上形成预设波形构型的复合高压脉冲电场加载，对被处理材料产生微秒‑纳秒复合高压脉冲电场加载，形成对细菌存活能力和繁殖能力的双重抑制，提升脉冲电场灭菌效能，延长处理后的材料的保质期。
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公开(公告)号：CN114710141B
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202210631714.7
申请日：2022-06-07
Applicant: 中国工程物理研究院流体物理研究所
Abstract: 本发明公开了一体化旋转开关和具有多输出形态的重频高压脉冲发生器，其中一体化旋转开关包括：绝缘旋转支撑杆、触发电极、径向轴承、旋转金属板、电磁铁和开关电极对，该一体化开关可以实现多个开关电极对的同时导通；具有多输出形态的重频高压脉冲发生器采用本发明提出的一体化旋转开关与多组多级Marx结构的结合，针对不同应用场景可通过调整开关触发电极组数、每组触发电极中触发电极的数量、Marx结构的级数、组数以及电容器的容值，实现输出电压幅值的连续调节以及多种波形组合的重频高压脉冲输出，可靠性高，大大拓展了高压脉冲发生器的应用范围。
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公开(公告)号：CN114709638B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210631726.X
申请日：2022-06-07
Applicant: 中国工程物理研究院流体物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于多负载且连接方式可变的汇流盘，该汇流盘包括输入同轴电缆正极连接板、输入同轴电缆负极连接板、输入同轴电缆正极顶板、输入同轴电缆套管、多个输出同轴电缆正极连接导体、多个输出同轴电缆负极连接导体、输出同轴电缆套管、连接绝缘板、隔离绝缘板、用于连接各层连接绝缘板的支撑杆以及支架。本发明公开的用于多负载且连接方式可变的汇流盘实现了高压脉冲大电流可靠地汇聚输入和分散输出，通过调整输出同轴电缆的正负极连接导体数量，实现多线圈的负载，通过调整电极连接片的连接方式及数量实现多负载线圈的多组合连接，具有通用性。
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公开(公告)号：CN114438465A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202210149016.3
申请日：2022-02-18
Applicant: 中国工程物理研究院流体物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种高功率脉冲磁控溅射负载打弧的快速响应电源保护电路，包括监测采样反馈电路和电源驱动控制单元，监测采样反馈电路包括比较器、预置信号生成模块和电流隔离采样模块，预置信号生成模块产生负载打弧保护的预置信号；电流隔离采样模块用于采集等离子体放电回路中的脉冲电流并转换为脉冲电压作为采样信号；比较器将预置信号与采样信号进行比较，生成反馈信号反馈至电源驱动控制单元；电源驱动控制单元接收触发信号和反馈信号，生成驱动信号以控制电源是否供电。本发明应用时若出现负载打弧，能立即停止当前脉冲溅射，下一个脉冲可正常溅射，有效地保护了高功率脉冲磁控溅射电源，并能解决磁控溅射打弧靶面中毒、溅射效率低的问题。
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公开(公告)号：CN108220901A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810115318.2
申请日：2018-02-06
Applicant: 中国工程物理研究院流体物理研究所
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明公开了一种新型等离子体溅射镀膜方法，该装置由控制系统,高、低压储能单元,负极性高压预电离脉冲电路,双极性低压主脉冲电路,脉冲合成电路及等离子体负载组成；提出高压短脉冲对等离子体预电离和高功率双极性脉冲磁控溅射设计方法，对等离子体负载按照一定重复频率进行多次高压短脉冲预电离和高功率双极性脉冲电场处理，减小负极性高压短脉冲与高功率正、负双极性低压主脉冲之间的时间间隔，以增强电压脉冲与等离子体负载之间的耦合，用于解决靶材电离时刻不一致问题。根据溅射靶材和等离子体气体的不同可以调节负极性高压短脉冲的宽度和电压幅值，可以降低磁控溅射装置内气体的工作气压，实现低气压溅射镀膜，有利于提高粒子的沉积速率和减小薄膜表面粗糙度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108173450A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201810115319.7
申请日：2018-02-06
Applicant: 中国工程物理研究院流体物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种集高压短脉冲预电离一体化高功率双极性脉冲形成电路，该电路由负极性高压短脉冲形成电路、高功率负极性低压主脉冲形成电路、正极性低压脉冲形成电路和磁开关组成，利用负极性高压短脉冲来实现对等离子体负载预电离处理，双极性高功率脉冲用于靶材的溅射，可以即时适应负载阻抗变化的特点。集高压短脉冲预电离一体化高功率双极性脉冲形成电路输出高功率脉冲占空比远大于负极性高压预电离脉冲的占空比，提高了磁控溅射镀膜电源效率和靶材溅射镀膜效率、减小电源体积。用于解决电源体积较大、效率较低、靶粒子沉积速率低问题。
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公开(公告)号：CN114709638A
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202210631726.X
申请日：2022-06-07
Applicant: 中国工程物理研究院流体物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于多负载且连接方式可变的汇流盘，该汇流盘包括输入同轴电缆正极连接板、输入同轴电缆负极连接板、输入同轴电缆正极顶板、输入同轴电缆套管、多个输出同轴电缆正极连接导体、多个输出同轴电缆负极连接导体、输出同轴电缆套管、连接绝缘板、隔离绝缘板、用于连接各层连接绝缘板的支撑杆以及支架。本发明公开的用于多负载且连接方式可变的汇流盘实现了高压脉冲大电流可靠地汇聚输入和分散输出，通过调整输出同轴电缆的正负极连接导体数量，实现多线圈的负载，通过调整电极连接片的连接方式及数量实现多负载线圈的多组合连接，具有通用性。
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公开(公告)号：CN114487584A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210148974.9
申请日：2022-02-18
Applicant: 中国工程物理研究院流体物理研究所
Abstract: 本发明公开了双极性直流高压隔离采样电路，包括正负高压采样单元、正负双极性电压转换单元、变压器耦合隔离供电单元、光纤隔离传输单元及电压还原单元，其中，正负高压采样单元用于对正高压和/或负高压采样；正负双极性电压转换单元用于将采样信号转换为高频数字信号；光纤隔离传输单元用于实现高频数字信号隔离传输；电压还原单元用于将高频数字信号转换为直流电压；变压器耦合隔离供电单元用于生成正负双极性电压转换单元和光纤隔离传输单元的供电电压。本发明能提升耐压性能，并能同时实现正负双极性直流高压的隔离采样需求。
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公开(公告)号：CN113543398B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202111075073.3
申请日：2021-09-14
Applicant: 中国工程物理研究院流体物理研究所
IPC: H05B41/36
Abstract: 本发明公开了一种提升高功率脉冲氙灯光源可靠性的装置及方法，该装置采用预电离和主放电均为高压晶闸管开关组件的双固态放电开关，避免出现开关自激，提升高功率脉冲氙灯光源的可靠性和使用寿命，并采用先预电离‑后主放电的工作模式，首先对预电离电流进行检测判断，判断预电离正常情况下，FPGA进行主放电触发，然后对主放电电流进行检测判断，判断主放电实际输出电流正常情况下，FPGA输出起爆信号，作为起爆设备的同步触发，在预电离或主放电输出电流不正常情况下，FPGA均不会输出起爆信号，实现对脉冲氙灯光源的工作状态的自动检测、故障判断和实验中止等功能，提高脉冲氙灯光源的工作稳定性和可靠性，为大型爆轰实验的顺利实施提供重要的技术支撑。
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公开(公告)号：CN113543398A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202111075073.3
申请日：2021-09-14
Applicant: 中国工程物理研究院流体物理研究所
IPC: H05B41/36
Abstract: 本发明公开了一种提升高功率脉冲氙灯光源可靠性的装置及方法，该装置采用预电离和主放电均为高压晶闸管开关组件的双固态放电开关，避免出现开关自激，提升高功率脉冲氙灯光源的可靠性和使用寿命，并采用先预电离‑后主放电的工作模式，首先对预电离电流进行检测判断，判断预电离正常情况下，FPGA进行主放电触发，然后对主放电电流进行检测判断，判断主放电实际输出电流正常情况下，FPGA输出起爆信号，作为起爆设备的同步触发，在预电离或主放电输出电流不正常情况下，FPGA均不会输出起爆信号，实现对脉冲氙灯光源的工作状态的自动检测、故障判断和实验中止等功能，提高脉冲氙灯光源的工作稳定性和可靠性，为大型爆轰实验的顺利实施提供重要的技术支撑。
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