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公开(公告)号：CN106929828B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN201710334592.4
申请日：2017-05-12
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
IPC: C23C16/458
Abstract: 本发明公开一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台，属于晶体合成技术领域。该基片台置于微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置反应腔体内的水冷台上，其结构包含用于放置沉积基底的中心凹槽、环形外凸出部、环形内凸出部、介于内外凸出部之间的环形凹槽及位于外凸出部外侧的外表面。该基片台独立于反应腔体及水冷台，用于放置沉积基底并在其上方形成均匀稳定的电场及等离子体分布，提高所制备的金刚石膜的均匀性，同时能够有效防止基片台非沉积区域生成的杂质溅射至沉积基底上污染金刚石膜。本发明具有设计制作简单、能够制备大面积金刚石膜、易于调节尺寸以适合制备不同尺寸及厚度的金刚石膜、制备的金刚石膜品质高等优点。
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公开(公告)号：CN107037254B
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN201710048853.6
申请日：2017-01-23
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于真空二极管电压测量的D‑dot探头，属于脉冲功率技术中真空二极管电压测量领域，包括电缆座、探头外壳、O型密封圈、绝缘套筒、接地外壳、测量电极、连接杆、真空密封电缆连接器、金属密封圈和绝缘薄片，所述电缆座、所述真空密封电缆连接器、所述O型密封圈、所述探头外壳、所述绝缘套筒、所述连接杆、所述测量电极和绝缘薄片之间均为同轴心结构，安装连接形成探头整体；本发明在测量电极上安装由耐高温耐烧蚀高分子材料制成的绝缘薄片阻挡等离子体，避免绝缘击穿；采用真空密封电缆连接器及金属密封圈保证真空密封性能；将分压器的主体部分采用螺纹连接方式形成一个整体，使得拆卸过程造成的测量误差最小化。
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公开(公告)号：CN112291912A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011319587.4
申请日：2020-11-23
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
Inventor： 李鹏 , 王建新 , 周征 , 胡栋材 , 肖德鑫 , 吴岱 , 黎明 , 杨兴繁 , 王远 , 王孝忠 , 赵剑衡 , 陈门雪 , 鲁燕华 , 王汉斌 , 刘宇 , 单李军 , 沈旭明 , 和天慧 , 徐勇 , 周奎 , 劳成龙 , 罗星 , 白燕 , 闫陇刚 , 邓德荣 , 陈立均 , 刘婕 , 张德敏 , 潘清 , 柏伟 , 陈亚男 , 邓仕钰 , 李文君 , 宋志大 , 张成鑫 , 刘清华 , 李敬 , 李寿涛 , 李世根 , 程云 , 蒲晓媛 , 涂国锋 , 蔡哲 , 陈云斌 , 力涛 , 石正军 , 罗为 , 刘春林 , 张小丽 , 张冬 , 余虹 , 丁玉寿 , 李雷
IPC: H05G2/00 , G01N23/046 , G01B15/00
Abstract: 本发明公开一种高能微焦点X射线生产设备，包括用于生成高能电子束的电子源组件和用于被电子束轰击生成高能X射线的旋转靶设备，电子源组件生成的高能聚焦电子束轰击到旋转靶设备上生成高能微焦点X射线。本申请通过采用特定的电子源和直线加速器相配合，提供长宏脉冲高平均流强的电子束，再通过螺线管和强聚焦四极透镜组的聚焦，将长宏脉冲高平均流强的电子束横向尺寸在打靶位置聚焦到比较小的尺寸，并通过束斑测量组件对电子束横向尺寸进行精确测量控制，将束斑尺寸控制到0.1mm以下，实现高能微焦点X射线输出的目的。
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公开(公告)号：CN107037254A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710048853.6
申请日：2017-01-23
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
CPC classification number: G01R19/0084 , G01R1/06711 , G01R1/06733
Abstract: 本发明公开了一种用于真空二极管电压测量的D‑dot探头，属于脉冲功率技术中真空二极管电压测量领域，包括电缆座、探头外壳、O型密封圈、绝缘套筒、接地外壳、测量电极、连接杆、真空密封电缆连接器、金属密封圈和绝缘薄片，所述电缆座、所述真空密封电缆连接器、所述O型密封圈、所述探头外壳、所述绝缘套筒、所述连接杆、所述测量电极和绝缘薄片之间均为同轴心结构，安装连接形成探头整体；本发明在测量电极上安装由耐高温耐烧蚀高分子材料制成的绝缘薄片阻挡等离子体，避免绝缘击穿；采用真空密封电缆连接器及金属密封圈保证真空密封性能；将分压器的主体部分采用螺纹连接方式形成一个整体，使得拆卸过程造成的测量误差最小化。
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公开(公告)号：CN107887449B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN201711360439.5
申请日：2017-12-18
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
IPC: H01L29/861
Abstract: 本发明公开了一种可远程调节束参数的紧凑型强流二极管，包括设置在密封空间的阴极座和设置在阴极座上的环形阴极、与环形阴极对应设置的阳极内筒，设置在阳极内筒外表面的阳极外筒，所述环形阴极与阳极内筒同轴设置、但环形阴极与阳极内筒在轴向上不重叠，所述阴极座的轴向上设置有磁场，阳极外筒的轴向上设置有磁场，阴极与阳极内筒之间相对距离可以调节，通过距离调节实现输出阻抗变化；本发明设计巧妙，结构简单易于实现，可远程调节阴阳极间距从而调节二极管阻抗，而不再像传统的二极管每次调节需要破坏整个真空环境，极大提高调节工作效率，具有突出的实质性特点和显著进步，适合大规模推广应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112333908A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011319588.9
申请日：2020-11-23
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
Inventor： 刘宇 , 王建新 , 肖德鑫 , 李鹏 , 胡栋材 , 周征 , 吴岱 , 黎明 , 杨兴繁 , 王远 , 王孝忠 , 赵剑衡 , 陈门雪 , 鲁燕华 , 王汉斌 , 单李军 , 沈旭明 , 和天慧 , 徐勇 , 周奎 , 劳成龙 , 罗星 , 白燕 , 闫陇刚 , 邓德荣 , 陈立均 , 刘婕 , 张德敏 , 潘清 , 柏伟 , 陈亚男 , 邓仕钰 , 李文君 , 宋志大 , 张成鑫 , 刘清华 , 李敬 , 李寿涛 , 李世根 , 程云 , 蒲晓媛 , 涂国锋 , 蔡哲 , 陈云斌 , 力涛 , 石正军 , 罗为 , 刘春林 , 张小丽 , 张冬 , 余虹 , 丁玉寿 , 李雷
IPC: H05G2/00 , G01N23/046
Abstract: 本发明公开一种用于高能微焦点X射线的旋转靶，包括用于分散电子束打靶能量的旋转靶和用于测量电子束束斑大小的束斑测量组件，所述旋转靶和束斑测量组件均可相对移动，使电子束在旋转靶和束斑测量组件的同一位置上形成的束斑。本申请通过提供一种可旋转的靶盘，分散电子束轰击靶盘的能量，通过在打靶前设置束斑测量靶以及移动机构，确保打到旋转靶上的电子束束斑分布尺寸可精确测量与控制，从而实现产生高能微焦点X射线的目的。
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公开(公告)号：CN112156379A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202011104043.6
申请日：2020-10-15
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
Inventor： 黎明 , 吴岱 , 王建新 , 杨兴繁 , 李鹏 , 肖德鑫 , 赵剑衡 , 陈门雪 , 单李军 , 沈旭明 , 和天慧 , 胡栋材 , 徐勇 , 周奎 , 王汉斌 , 劳成龙 , 罗星 , 白燕 , 闫陇刚 , 陈立均 , 刘宇 , 刘婕 , 周征 , 张德敏 , 潘清 , 柏伟 , 陈亚男 , 邓仕钰 , 李文君 , 宋志大
IPC: A61N5/10
Abstract: 本发明涉及一种多治疗终端放射治疗装置，属于放射治疗技术领域，依次包括电子源、射频超导直线加速器、分束组件、X射线靶和X射线准直器，本发明采用电子源和射频超导直线加速器提供长脉冲高剂量率的X射线，既可以在短时间内给予治疗终端非常高的照射剂量，又可以通过调节电子束的能量来调节X射线的能量，通过调节电子束脉冲长度来调节X射线的时间长度，通过调节电子束的流强来调节剂量率，以达到治疗终端更好的放射治疗效果，此外，采用分束组件，将射频超导直线加速器的束流分配到不同的治疗终端，提高束流利用效率和放射治疗的效率。
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公开(公告)号：CN111481840A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010524360.7
申请日：2020-06-10
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
Inventor： 黎明 , 杨兴繁 , 吴岱 , 王建新 , 李鹏 , 肖德鑫 , 赵剑衡 , 陈门雪 , 单李军 , 徐勇 , 沈旭明 , 和天慧 , 胡栋材 , 周奎 , 王汉斌 , 劳成龙 , 罗星 , 白燕 , 闫陇刚 , 陈立均 , 刘宇 , 刘婕 , 周征 , 张德敏 , 潘清 , 柏伟 , 陈亚男 , 邓仕钰 , 李文君 , 宋志大
IPC: A61N5/10
Abstract: 本发明公开一种小型化闪光放射治疗装置，包括栅控电子枪、常温射频直线加速器、时域合成射频功率源、X射线靶以及准直器，栅控电子枪通过第一传输线将电子束传导至常温射频直线加速器，时域合成射频功率源给常温射频直线加速器提供微波，常温射频直线加速器通过第二传输线将电子束传导至X射线靶，电子束轰击到X射线靶上生成X射线，X射线经由准直器照射到目标靶上。根据本发明的小型化闪光放射治疗装置，可以提供长宏脉冲高剂量率X射线，在短时间内给予目标靶区非常高的照射剂量，满足闪光放射治疗的要求，达到更好的放射治疗效果。
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公开(公告)号：CN107164740B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201710334072.3
申请日：2017-05-12
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
IPC: C23C16/27 , C23C16/458
Abstract: 本发明公开一种采用微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的方法，属于晶体合成技术领域。该方法中，基片台置于微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置反应腔体内的水冷台上，其结构包含用于放置沉积基底的中心凹槽、环形外凸出部、环形内凸出部、介于内外凸出部之间的环形凹槽及位于外凸出部外侧的外表面。该基片台独立于反应腔体及水冷台，用于放置沉积基底并在其上方形成均匀稳定的电场及等离子体分布，提高所制备的金刚石膜的均匀性，同时能够有效防止基片台非沉积区域生成的杂质溅射至沉积基底上污染金刚石膜。本发明具有设计制作简单、能够制备大面积金刚石膜、适合于制备不同尺寸及厚度的金刚石膜、制备的金刚石膜品质高等优点。
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公开(公告)号：CN107895719A
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201711360438.0
申请日：2017-12-18
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
IPC: H01L23/48 , H01L29/861
CPC classification number: H01L23/481 , H01L29/861
Abstract: 本发明公开了一种可调节高阻抗小型化高压二极管，包括绝缘子、阳极筒、阴极杆、阴极座、环形阴极和飘移管，所述阳极筒与飘移管同轴线设置，其外部表面同轴设置有主引导磁场，所述阴极杆、阴极座、环形阴极依次同轴连接为一体，与阳极筒同轴线设置，与阳极筒在轴向位置上不重叠，所述阴极杆上同轴设置有补充磁场，所述环形阴极与阳极筒之间的轴向距离可以调节；本发明能够实现高压二极管的高阻抗性能，设计巧妙，结构简单易于实现，使用方便且制作和维护费用较低，体积小，重量轻，能耗低，在高阻抗微波器件研制中具有广泛的应用前景，在移动平台应用中尤为有利，具有突出的实质性特点和显著进步，适合大规模推广应用。
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