公开(公告)号：CN104049035A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410315343.7

申请日：2014-07-03

Applicant: 中国工程物理研究院化工材料研究所

Inventor： 张伟斌 ,  杨占锋 ,  田勇 ,  李敬明 ,  牟秀发 ,  董青松 ,  杨仍才

IPC: G01N29/06 ,  G01N29/22

Abstract: 本发明公开了一种用于扫描声学显微镜原位检测的力热同步加载装置，它包括底座以及设置在底座上的介质槽(1)，其特征在于它还包括力载装置与热载装置，所述力载装置包括固定弯梁(7)、活动弯梁(2)、驱动活动弯梁(2)左右移动的驱动机构，所述固定弯梁(7)固定在底座上，所述活动弯梁(2)与驱动机构连接并能在驱动机构的驱动作用下沿介质槽(1)左右移动，在所述固定弯梁(7)与活动弯梁(2)上分别设有相互对应的夹具头(3)；所述热载装置包括均设置在介质槽(1)上的电加热器(10)与半导体制冷器(11)。本发明不仅结构简单，而且成本低廉，还能实现对试件力、热的同步加载，因此适合推广使用。

公开(公告)号：CN104049035B

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201410315343.7

申请日：2014-07-03

Applicant: 中国工程物理研究院化工材料研究所

Inventor： 张伟斌 ,  杨占锋 ,  田勇 ,  李敬明 ,  牟秀发 ,  董青松 ,  杨仍才

IPC: G01N29/06 ,  G01N29/22

Abstract: 本发明公开了一种用于扫描声学显微镜原位检测的力热同步加载装置，它包括底座以及设置在底座上的介质槽(1)，其特征在于它还包括力载装置与热载装置，所述力载装置包括固定弯梁(7)、活动弯梁(2)、驱动活动弯梁(2)左右移动的驱动机构，所述固定弯梁(7)固定在底座上，所述活动弯梁(2)与驱动机构连接并能在驱动机构的驱动作用下沿介质槽(1)左右移动，在所述固定弯梁(7)与活动弯梁(2)上分别设有相互对应的夹具头(3)；所述热载装置包括均设置在介质槽(1)上的电加热器(10)与半导体制冷器(11)。本发明不仅结构简单，而且成本低廉，还能实现对试件力、热的同步加载，因此适合推广使用。