用于FP腔光纤声学传感器的内嵌式双层敏感膜及制备方法

    公开(公告)号:CN110057438B

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN201910305527.8

    申请日:2019-04-16

    Abstract: 本发明涉及一种用于FP腔光纤声学传感器的内嵌式双层敏感膜及制备方法,属于声学传感器技术领域。本发明的FP腔光纤声学传感器包括毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜,其中作为FP腔体的毛细玻璃管的一个环形端面与单模光纤的横截面连接,毛细玻璃管的另一个环形端面与将其覆盖的内嵌式双层敏感膜固连;内嵌式双层敏感膜包括软膜和内嵌入软膜内表面的金属硬膜,金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置,金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等,软膜的直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。本发明将弹性模量较大且反射率大的金属硬膜镶嵌在弹性模量小的软膜内,形成一内嵌结构,制作出的敏感膜同时具有很好的形变能力和反射率。

    用于FP腔光纤压力传感器的镀层式双层敏感膜及制备方法

    公开(公告)号:CN110057479A

    公开(公告)日:2019-07-26

    申请号:CN201910309917.2

    申请日:2019-04-17

    Abstract: 本发明涉及一种用于FP腔光纤压力传感器的镀层式双层敏感膜及制备方法,属于压力传感器技术领域。本发明的FP腔光纤压力传感器包括毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜,单模光纤从毛细玻璃管的一环形端面插入,另一个环形端面与将其覆盖的镀层式双层敏感膜固连,单模光纤和镀层式双层敏感膜之间形成一空气腔作为FP腔体;镀层式双层敏感膜包括软膜和镀在软膜外表面的金属硬膜,金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置,金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等,软膜直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。本发明将弹性模量较大且反射率大的金属硬膜镀在弹性模量小的软膜外表面,形成一外镀双层结构敏感膜,同时具有很好的形变能力和反射率。

    基于MEMS工艺的外凸式双层压力敏感膜、FP腔光纤声传感器

    公开(公告)号:CN111141379A

    公开(公告)日:2020-05-12

    申请号:CN202010030449.8

    申请日:2020-01-13

    Abstract: 本发明提供一种基于MEMS工艺的外凸式双层压力敏感膜,包括软膜和镀在软膜下方的介质硬膜,所述软膜的直径大于介质硬膜的直径,所述软膜为由PDMS制成的橡胶膜或硅胶膜,所述介质硬膜包括若干第一介质层和若干第二介质层,所述第一介质层的折射率大于第二介质层的折射率,所述第一介质层和第二介质层由下至上依次交替层叠。本发明还提供一种FP腔光纤声传感器,利用该FP腔光纤声传感器收集透射光进行解调时,由于薄膜工艺使FP腔两个腔面的反射率接近99%,因此透射光谱为锐利的梳状谱线,此时,接收透射光,通过对光信号解调得到声压信号。本发明制作出的敏感膜外周形变量大,光纤模场直径范围内区域几乎无形变且反射率高。

    基于激光扫描和双探测器的距离与速度测量装置及方法

    公开(公告)号:CN103235302B

    公开(公告)日:2014-10-15

    申请号:CN201310065127.7

    申请日:2013-02-28

    Inventor: 周俐娜 程永进

    Abstract: 本发明提供了一种利用扫描激光信号和双探测器来进行距离和速度测量的装置及方法,由发射单元和接收单元组成,发射单元安装于物体A上,接收单元安装于物体B上,能够测量物体A与物体B之间的相对距离和相对速度,发射单元包括激光线光源、主截面为正N边形的N棱镜以及能够带动N棱镜旋转的马达,接收单元至少包括两只光电探测器以及单片机。马达带动N棱镜旋转,激光光源发射出的激光被N棱镜的侧面反射至接收单元并先后被两个光电探测器接收。本发明提供的技术方案不需要利用回波,可以应用于相互运动的物体,且可以进行跟踪测量和连续测量,同时还可以应用于低速运动的物体中,其适用范围广泛。

    一种过热保护的电致发光表面等离激元光源

    公开(公告)号:CN110007538B

    公开(公告)日:2022-01-18

    申请号:CN201910331717.7

    申请日:2019-04-24

    Abstract: 本发明涉及一种过热保护的电致发光表面等离激元光源,包括衬底层,设置于衬底层上的第一金属结构、第二金属结构所述第一金属结构与第二金属结构之间设置有波导狭缝,所述波导狭缝的底部设置有调节层,所述调节层的上方设置有发光层;该过热保护的电致发光表面等离激元光源,能够对表面等离激元光源进行自动的调节,避免因为持续发热而导致发光层的损坏,通过设置的调节层能够根据发光层的发热情况,能够间歇的切断发光层的电源,避免发光层因为持续发热而损坏。

    基于MEMS工艺的内嵌式双层压力敏感膜、FP腔光纤声传感器

    公开(公告)号:CN111141380A

    公开(公告)日:2020-05-12

    申请号:CN202010030615.4

    申请日:2020-01-13

    Abstract: 本发明提供一种基于MEMS工艺的内嵌式双层压力敏感膜,包括软膜和嵌入软膜内部的介质硬膜,所述软膜的直径大于介质硬膜的直径,所述软膜为由PDMS制成的橡胶膜或硅胶膜,所述介质硬膜包括若干第一介质层和若干第二介质层,所述第一介质层的折射率大于第二介质层的折射率,所述第一介质层和第二介质层由下至上依次交替层叠。本发明还提供一种FP腔光纤声传感器,利用该FP腔光纤声传感器收集透射光进行解调时,由于薄膜工艺使FP腔两个腔面的反射率接近99%,因此透射光谱为锐利的梳状谱线,此时,接收透射光,通过对光信号解调得到声压信号。本发明制作出的敏感膜外周形变量大,光纤模场直径范围内区域几乎无形变且反射率高。

    用于FP腔光纤压力传感器的镀层式双层敏感膜及制备方法

    公开(公告)号:CN110057479B

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN201910309917.2

    申请日:2019-04-17

    Abstract: 本发明涉及一种用于FP腔光纤压力传感器的镀层式双层敏感膜及制备方法,属于压力传感器技术领域。本发明的FP腔光纤压力传感器包括毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜,单模光纤从毛细玻璃管的一环形端面插入,另一个环形端面与将其覆盖的镀层式双层敏感膜固连,单模光纤和镀层式双层敏感膜之间形成一空气腔作为FP腔体;镀层式双层敏感膜包括软膜和镀在软膜外表面的金属硬膜,金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置,金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等,软膜直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。本发明将弹性模量较大且反射率大的金属硬膜镀在弹性模量小的软膜外表面,形成一外镀双层结构敏感膜,同时具有很好的形变能力和反射率。

    用于FP腔光纤声学传感器的内嵌式双层敏感膜及制备方法

    公开(公告)号:CN110057438A

    公开(公告)日:2019-07-26

    申请号:CN201910305527.8

    申请日:2019-04-16

    Abstract: 本发明涉及一种用于FP腔光纤声学传感器的内嵌式双层敏感膜及制备方法,属于声学传感器技术领域。本发明的FP腔光纤声学传感器包括毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜,其中作为FP腔体的毛细玻璃管的一个环形端面与单模光纤的横截面连接,毛细玻璃管的另一个环形端面与将其覆盖的内嵌式双层敏感膜固连;内嵌式双层敏感膜包括软膜和内嵌入软膜内表面的金属硬膜,金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置,金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等,软膜的直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。本发明将弹性模量较大且反射率大的金属硬膜镶嵌在弹性模量小的软膜内,形成一内嵌结构,制作出的敏感膜同时具有很好的形变能力和反射率。

    基于激光扫描和双探测器的距离与速度测量装置及方法

    公开(公告)号:CN103235302A

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN201310065127.7

    申请日:2013-02-28

    Inventor: 周俐娜 程永进

    Abstract: 本发明提供了一种利用扫描激光信号和双探测器来进行距离和速度测量的装置及方法,由发射单元和接收单元组成,发射单元安装于物体A上,接收单元安装于物体B上,能够测量物体A与物体B之间的相对距离和相对速度,发射单元包括激光线光源、主截面为正N边形的N棱镜以及能够带动N棱镜旋转的马达,接收单元至少包括两只光电探测器以及单片机。马达带动N棱镜旋转,激光光源发射出的激光被N棱镜的侧面反射至接收单元并先后被两个光电探测器接收。本发明提供的技术方案不需要利用回波,可以应用于相互运动的物体,且可以进行跟踪测量和连续测量,同时还可以应用于低速运动的物体中,其适用范围广泛。

    用于FP腔光纤声学传感器的内嵌式双层敏感膜

    公开(公告)号:CN209802504U

    公开(公告)日:2019-12-17

    申请号:CN201920514760.2

    申请日:2019-04-16

    Abstract: 本实用新型涉及一种用于FP腔光纤声学传感器的内嵌式双层敏感膜,属于声学传感器技术领域。本实用新型的FP腔光纤声学传感器包括毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜,其中作为FP腔体的毛细玻璃管的一个环形端面与单模光纤的横截面连接,毛细玻璃管的另一个环形端面与将其覆盖的内嵌式双层敏感膜固连;内嵌式双层敏感膜包括软膜和内嵌入软膜内表面的金属硬膜,金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置,金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等,软膜的直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。本实用新型将弹性模量较大且反射率大的金属硬膜镶嵌在弹性模量小的软膜内,形成一内嵌结构,制作出的敏感膜同时具有很好的形变能力和反射率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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