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公开(公告)号：CN110057438B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN201910305527.8
申请日：2019-04-16
Applicant: 中国地质大学(武汉)
Abstract: 本发明涉及一种用于FP腔光纤声学传感器的内嵌式双层敏感膜及制备方法，属于声学传感器技术领域。本发明的FP腔光纤声学传感器包括毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜，其中作为FP腔体的毛细玻璃管的一个环形端面与单模光纤的横截面连接，毛细玻璃管的另一个环形端面与将其覆盖的内嵌式双层敏感膜固连；内嵌式双层敏感膜包括软膜和内嵌入软膜内表面的金属硬膜，金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置，金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等，软膜的直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。本发明将弹性模量较大且反射率大的金属硬膜镶嵌在弹性模量小的软膜内，形成一内嵌结构，制作出的敏感膜同时具有很好的形变能力和反射率。
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公开(公告)号：CN110057479A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910309917.2
申请日：2019-04-17
Applicant: 中国地质大学(武汉)
Abstract: 本发明涉及一种用于FP腔光纤压力传感器的镀层式双层敏感膜及制备方法，属于压力传感器技术领域。本发明的FP腔光纤压力传感器包括毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜，单模光纤从毛细玻璃管的一环形端面插入，另一个环形端面与将其覆盖的镀层式双层敏感膜固连，单模光纤和镀层式双层敏感膜之间形成一空气腔作为FP腔体；镀层式双层敏感膜包括软膜和镀在软膜外表面的金属硬膜，金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置，金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等，软膜直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。本发明将弹性模量较大且反射率大的金属硬膜镀在弹性模量小的软膜外表面，形成一外镀双层结构敏感膜，同时具有很好的形变能力和反射率。
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公开(公告)号：CN111141380A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN202010030615.4
申请日：2020-01-13
Applicant: 中国地质大学(武汉)
Abstract: 本发明提供一种基于MEMS工艺的内嵌式双层压力敏感膜，包括软膜和嵌入软膜内部的介质硬膜，所述软膜的直径大于介质硬膜的直径，所述软膜为由PDMS制成的橡胶膜或硅胶膜，所述介质硬膜包括若干第一介质层和若干第二介质层，所述第一介质层的折射率大于第二介质层的折射率，所述第一介质层和第二介质层由下至上依次交替层叠。本发明还提供一种FP腔光纤声传感器，利用该FP腔光纤声传感器收集透射光进行解调时，由于薄膜工艺使FP腔两个腔面的反射率接近99％，因此透射光谱为锐利的梳状谱线，此时，接收透射光，通过对光信号解调得到声压信号。本发明制作出的敏感膜外周形变量大,光纤模场直径范围内区域几乎无形变且反射率高。
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公开(公告)号：CN110057479B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201910309917.2
申请日：2019-04-17
Applicant: 中国地质大学(武汉)
Abstract: 本发明涉及一种用于FP腔光纤压力传感器的镀层式双层敏感膜及制备方法，属于压力传感器技术领域。本发明的FP腔光纤压力传感器包括毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜，单模光纤从毛细玻璃管的一环形端面插入，另一个环形端面与将其覆盖的镀层式双层敏感膜固连，单模光纤和镀层式双层敏感膜之间形成一空气腔作为FP腔体；镀层式双层敏感膜包括软膜和镀在软膜外表面的金属硬膜，金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置，金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等，软膜直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。本发明将弹性模量较大且反射率大的金属硬膜镀在弹性模量小的软膜外表面，形成一外镀双层结构敏感膜，同时具有很好的形变能力和反射率。
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公开(公告)号：CN110057438A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910305527.8
申请日：2019-04-16
Applicant: 中国地质大学(武汉)
Abstract: 本发明涉及一种用于FP腔光纤声学传感器的内嵌式双层敏感膜及制备方法，属于声学传感器技术领域。本发明的FP腔光纤声学传感器包括毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜，其中作为FP腔体的毛细玻璃管的一个环形端面与单模光纤的横截面连接，毛细玻璃管的另一个环形端面与将其覆盖的内嵌式双层敏感膜固连；内嵌式双层敏感膜包括软膜和内嵌入软膜内表面的金属硬膜，金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置，金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等，软膜的直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。本发明将弹性模量较大且反射率大的金属硬膜镶嵌在弹性模量小的软膜内，形成一内嵌结构，制作出的敏感膜同时具有很好的形变能力和反射率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111141379A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN202010030449.8
申请日：2020-01-13
Applicant: 中国地质大学(武汉)
Abstract: 本发明提供一种基于MEMS工艺的外凸式双层压力敏感膜，包括软膜和镀在软膜下方的介质硬膜，所述软膜的直径大于介质硬膜的直径，所述软膜为由PDMS制成的橡胶膜或硅胶膜，所述介质硬膜包括若干第一介质层和若干第二介质层，所述第一介质层的折射率大于第二介质层的折射率，所述第一介质层和第二介质层由下至上依次交替层叠。本发明还提供一种FP腔光纤声传感器，利用该FP腔光纤声传感器收集透射光进行解调时，由于薄膜工艺使FP腔两个腔面的反射率接近99％，因此透射光谱为锐利的梳状谱线，此时，接收透射光，通过对光信号解调得到声压信号。本发明制作出的敏感膜外周形变量大,光纤模场直径范围内区域几乎无形变且反射率高。
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公开(公告)号：CN209802504U
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201920514760.2
申请日：2019-04-16
Applicant: 中国地质大学(武汉)
Abstract: 本实用新型涉及一种用于FP腔光纤声学传感器的内嵌式双层敏感膜，属于声学传感器技术领域。本实用新型的FP腔光纤声学传感器包括毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜，其中作为FP腔体的毛细玻璃管的一个环形端面与单模光纤的横截面连接，毛细玻璃管的另一个环形端面与将其覆盖的内嵌式双层敏感膜固连；内嵌式双层敏感膜包括软膜和内嵌入软膜内表面的金属硬膜，金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置，金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等，软膜的直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。本实用新型将弹性模量较大且反射率大的金属硬膜镶嵌在弹性模量小的软膜内，形成一内嵌结构，制作出的敏感膜同时具有很好的形变能力和反射率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211425646U
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN202020068877.5
申请日：2020-01-13
Applicant: 中国地质大学(武汉)
Abstract: 本实用新型提供一种基于MEMS工艺的外凸式双层压力敏感膜，包括软膜和镀在软膜下方的介质硬膜，所述软膜的直径大于介质硬膜的直径，所述软膜为由PDMS制成的橡胶膜或硅胶膜，所述介质硬膜包括若干第一介质层和若干第二介质层，所述第一介质层的折射率大于第二介质层的折射率，所述第一介质层和第二介质层由下至上依次交替层叠。本实用新型还提供一种FP腔光纤声传感器，利用该声传感器收集透射光进行解调时，由于薄膜工艺使FP腔两个腔面的反射率接近99％，因此透射光谱为锐利的梳状谱线，此时，接收透射光，通过对光信号解调得到声压信号。本实用新型制作出的敏感膜外周形变量大,光纤模场直径范围内区域几乎无形变且反射率高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209802548U
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201920522783.8
申请日：2019-04-17
Applicant: 中国地质大学(武汉)
Abstract: 本实用新型涉及一种用于FP腔光纤压力传感器的镀层式双层敏感膜，属于压力传感器技术领域。本实用新型的FP腔光纤压力传感器包括毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜，单模光纤从毛细玻璃管的一环形端面插入，另一个环形端面与将其覆盖的镀层式双层敏感膜固连，单模光纤和镀层式双层敏感膜之间形成一空气腔作为FP腔体；镀层式双层敏感膜包括软膜和镀在软膜外表面的金属硬膜，金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置，金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等，软膜直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。本实用新型将弹性模量较大且反射率大的金属硬膜镀在弹性模量小的软膜外表面，形成一外镀双层结构敏感膜，同时具有很好的形变能力和反射率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211527597U
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202020069572.6
申请日：2020-01-13
Applicant: 中国地质大学(武汉)
Abstract: 本实用新型提供一种基于MEMS工艺的内嵌式双层压力敏感膜，包括软膜和嵌入软膜内部的介质硬膜，所述软膜的直径大于介质硬膜的直径，所述软膜为由PDMS制成的橡胶膜或硅胶膜，所述介质硬膜包括若干第一介质层和若干第二介质层，所述第一介质层的折射率大于第二介质层的折射率，所述第一介质层和第二介质层由下至上依次交替层叠。本实用新型还提供一种FP腔光纤声传感器，利用该声传感器收集透射光进行解调时，由于薄膜工艺使FP腔两个腔面的反射率接近99％，因此透射光谱为锐利的梳状谱线，此时，接收透射光，通过对光信号解调得到声压信号。本实用新型制作出的敏感膜外周形变量大,光纤模场直径范围内区域几乎无形变且反射率高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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