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公开(公告)号：CN112030196B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202010843887.6
申请日：2020-08-20
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明公开了一种精密电铸系统及控制方法，包括：电铸液温度控制模块、水浴槽水位控制模块、电铸液pH值控制模块、电铸槽液位控制模块和控制系统。本发明主要采用模块化自动控制的方法，通过设计不同模块精确控制对应参数，解决电铸装置自动化水平低、参数控制精度差的问题；同时，通过发明不同模块之间的协调方法，最终解决电铸液温度加热不均且控制精度差的问题；解决电铸液pH值控制精度差的问题。本发明考虑控制参数之间的相互影响，形成闭环自动控制，可有效提高精密电铸设备工艺参数的控制精度及设备的稳定性，改善制件的成型质量，可提高电铸设备的自动化水平，省去人工检测、操作环节，有效降低人工成本，使制件加工更加简单、便捷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111998979A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN202010725772.7
申请日：2020-07-24
Applicant: 中南大学
Abstract: 一种薄膜瞬时应力的计算方法，包括下述的步骤：在基底上进行薄膜沉积试验，并实时测量基底曲率半径R与沉积层厚度hf；根据下式计算第i时刻的薄膜瞬时应力σfi。本发明可适用于基底和薄膜不同弹性模量比及厚度比情况下的应力计算，在电沉积过程中可以准确显示初始阶段的应力变化，可精确得到整个厚度上每一个采样点的瞬时应力，结果更准确，适用于电化学沉积、CVD气相沉积、表面喷涂等领域的薄膜应力计算。
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公开(公告)号：CN111998979B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202010725772.7
申请日：2020-07-24
Applicant: 中南大学
Abstract: 一种薄膜瞬时应力的计算方法，包括下述的步骤：在基底上进行薄膜沉积试验，并实时测量基底曲率半径R与沉积层厚度hf；根据下式计算第i时刻的薄膜瞬时应力σfi。本发明可适用于基底和薄膜不同弹性模量比及厚度比情况下的应力计算，在电沉积过程中可以准确显示初始阶段的应力变化，可精确得到整个厚度上每一个采样点的瞬时应力，结果更准确，适用于电化学沉积、CVD气相沉积、表面喷涂等领域的薄膜应力计算。
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公开(公告)号：CN110579298A
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201911000986.1
申请日：2019-10-21
Applicant: 中南大学
IPC: G01L1/24 , G01B11/255 , C25D1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于热平衡条件下的高精度电铸应力在线检测方法，采用稳定加热的方法提高电铸液在加温下的平稳性，使电铸液在加热条件下依然能对铸层应力进行高精度检测；阴极基底采用与铸层弹性模量相同或相近的材料；激光发生器和波前传感器的设置，使激光照射在阴极基底抛光面的检测区域，并且激光从抛光面反射后照射在波前传感器的接收窗口；根据电铸过程中反射激光波前相位图得到激光相位曲率半径，计算得到基底曲率半径，并带入stoney公式计算得出铸层平均应力。本发明采用在线检测的方式，可以得出铸层应力与铸层厚度的关系，为铸层应力降低研究提供检测基础。本发明在对铸层应力在线检测的同时，满足了高精度检测的需求。
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公开(公告)号：CN112030196A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010843887.6
申请日：2020-08-20
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明公开了一种精密电铸系统及控制方法，包括：电铸液温度控制模块、水浴槽水位控制模块、电铸液pH值控制模块、电铸槽液位控制模块和控制系统。本发明主要采用模块化自动控制的方法，通过设计不同模块精确控制对应参数，解决电铸装置自动化水平低、参数控制精度差的问题；同时，通过发明不同模块之间的协调方法，最终解决电铸液温度加热不均且控制精度差的问题；解决电铸液pH值控制精度差的问题。本发明考虑控制参数之间的相互影响，形成闭环自动控制，可有效提高精密电铸设备工艺参数的控制精度及设备的稳定性，改善制件的成型质量，可提高电铸设备的自动化水平，省去人工检测、操作环节，有效降低人工成本，使制件加工更加简单、便捷。
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公开(公告)号：CN110749387A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201911000334.8
申请日：2019-10-21
Applicant: 中南大学
IPC: G01L1/00 , G01B11/255 , G01B11/06 , C25D1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于波前传感器的高精度电铸应力在线检测装置，包括电铸液槽、水浴加热槽、激光发生器和波前传感器，电铸液槽内设置阳极和阴极；激光发生器和波前传感器采用集成或分体布置，使激光经简单低损光路照射在阴极基底抛光面的检测区域，并从抛光面反射后照射在波前传感器的接收窗口；水浴加热槽设置在电铸液槽外，对电铸液加热并达到热平衡状态；阴极基底采用与铸层弹性模量相同或相近的材料，其一面为抛光面，当阴极基底材料采用绝缘材料时，其非抛光的一面为经导电化处理的导电面，导电面面向阳极。通过本发明装置，可以实现电铸应力的高精度在线检测，为铸层应力定量研究提供检测基础。
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