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公开(公告)号：CN110581186B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201910881040.4
申请日：2019-09-18
Applicant: 中南大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/101 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供了一种可调控光分布的MSM紫外探测器及其制备方法，属于半导体技术领域，所述探测器包括衬底和在衬底上依次生长的AlXGa1‑XN基紫外光吸收层和叉指电极；所述叉指电极与AlXGa1‑XN基紫外光吸收层形成肖特基接触；所述衬底背面设有微纳结构。所述探测器的制备方法包括：首先在衬底的正面外延生长AlXGa1‑XN基紫外光吸收层；然后在AlXGa1‑XN紫外光吸收层上制备叉指电极；再在衬底的背面进行研磨，得到光滑平整背面；最后在光滑平整背面制作微纳结构，得到MSM紫外探测器。上述制备方法简单、成本低廉，提高了MSM紫外探测器的响应度和灵敏度。
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公开(公告)号：CN110581186A
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201910881040.4
申请日：2019-09-18
Applicant: 中南大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/101 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供了一种可调控光分布的MSM紫外探测器及其制备方法，属于半导体技术领域，所述探测器包括衬底和在衬底上依次生长的AlXGa1-XN基紫外光吸收层和叉指电极；所述叉指电极与AlXGa1-XN基紫外光吸收层形成肖特基接触；所述衬底背面设有微纳结构。所述探测器的制备方法包括：首先在衬底的正面外延生长AlXGa1-XN基紫外光吸收层；然后在AlXGa1-XN紫外光吸收层上制备叉指电极；再在衬底的背面进行研磨，得到光滑平整背面；最后在光滑平整背面制作微纳结构，得到MSM紫外探测器。上述制备方法简单、成本低廉，提高了MSM紫外探测器的响应度和灵敏度。
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公开(公告)号：CN106966438A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201710212577.2
申请日：2017-04-01
Applicant: 中南大学
IPC: C01G51/00 , H01M4/485 , H01M4/525 , H01M10/0525
CPC classification number: C01G51/00 , C01P2002/72 , C01P2004/03 , C01P2004/32 , C01P2004/61 , C01P2004/62 , H01M4/485 , H01M4/525 , H01M10/0525
Abstract: 本发明公开了一种球形Co2AlO4材料及其制备方法和应用，球形Co2AlO4材料的制备方法包括如下步骤：(1)将可溶性钴源、铝源，按钴元素与铝元素的摩尔比为2:1溶于水中，搅拌得到前驱体溶液；(2)将步骤(1)搅拌得到的前驱体溶液经喷雾热解，制备得到所述球形Co2AlO4材料。采用本发明的球形Co2AlO4材料的制备方法制备得到的Co2AlO4材料，具有十分优异的电化学性能，可用作锂离子电池的负极材料。
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公开(公告)号：CN101831576A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN201010204405.9
申请日：2010-06-21
Applicant: 中南大学
Abstract: 一种Ti-Al-Cr-Mo合金及其板材的制备方法，合金组成按重量百分比为：Ti-(45-49)Al-(0.5-5)Cr-(0.1-0.3)Mo(at％)；其板材的制备方法是：一、HIP制备合金；二、从HIP制备的合金中切取轧制所需的坯料；三、将二得到的坯料置于纯钛板包套中；四、将带有包套的Ti-Al-Cr-Mo合金放入加热炉中预热；五、对带有包套的Ti-Al-Cr-Mo合金进行小道次低变形速度的多道次轧制后放入电炉中随炉冷却；去除包套即得Ti-Al-Cr-Mo合金板材。本发明解决了Ti-Al-Cr-Mo合金较脆，高温变形较难，难于通过轧制制备Ti-Al-Cr-Mo合金板材的难题。具有工艺方法简单、工艺参数合理，对HIP法制备的合金锭坯采用包套直接轧制、轧制得到的板材变形均匀，轧制后合金组织均匀、细小，无边裂和表面裂纹，表面质量良好，适于工业化生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109659398B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201811603494.7
申请日：2018-12-26
Applicant: 中南大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/108
Abstract: 本发明公开了一种AlGaN基背入式MSM紫外焦平面阵列成像系统的制备方法，属于半导体技术领域，包括以下步骤：(1)在衬底上依次外延生长AlN缓冲层、AlGaN渐变缓冲层、AlxGa1‑xN紫外光吸收层；(2)对衬底背面进行抛光；(3)在AlxGa1‑xN紫外光吸收层上光刻，制作金属叉指电极；(4)在紫外焦平面阵列上制备In柱，与驱动电路，成像电路键合，制成AlGaN基背入式MSM紫外焦平面阵列成像系统。本发明通过外延材料和器件的设计，相比传统正入式PN紫外焦平面成像系统具有以下优点：避免AlN缓冲层、衬底、金属电极对紫外光的吸收；可获得较薄且高质量的紫外光吸收层，减少载流子的迁移距离，本发明可显著提高紫外FPA探测器焦平面成像系统的性能，包括信噪比，分辨率，和灵敏度。
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公开(公告)号：CN110444615A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910739894.9
申请日：2019-08-12
Applicant: 中南大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/108 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种AlGaN基垂直结MSM紫外探测器及其制备方法，包括衬底，衬底一侧由内至外依次设有AlXGa1-XN紫外光吸收层、电极，所述电极为正常叉指电极的一半，沉积在AlXGa1-XN紫外光吸收层的表面，衬底另一侧设有区域电极，所述区域电极和叉指电极的材质相同，区域电极为层状，且区域电极、衬底、AlXGa1-XN紫外光吸收层的横截面积相等。本发明通过将单个叉指电极沉积在紫外光吸收层上面，减少了金属电极对部分入射光的阻挡和吸收，在衬底下面制备区域电极，使得产生的光生载留子在垂直方向迁移收集，而不是在侧方向迁移收集，减少了光生载流子迁移时间，从而提高探测器的响应度，降低响应时间，增大探测器响应度，提高了使用性能。
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公开(公告)号：CN110047968A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910308276.9
申请日：2019-04-17
Applicant: 中南大学
IPC: H01L31/108 , H01L31/0224 , H01L31/0236 , H01L31/0304 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种AlGaN基3D倒装焊MSM阵列紫外探测器的制备方法，属于半导体技术领域，包括：(1)在衬底上外延生长AlXGa1-XN紫外光吸收层；(2)在AlXGa1-XN紫外光吸收层上进行光刻，形成沟槽；(3)在AlXGa1-XN紫外光吸收层的沟槽内沉积叉指电极；(4)对衬底背面进行抛光；(5)在基板上采用版图制作基板电路；(6)在基板电路上制作焊接微凸点；(7)把紫外探测器倒转，将叉指电极两端的pad区域与微凸点焊连；本发明制作工艺简单，倒装焊技术成熟，成本低，易于实施，可以大规模推广；本发明通过叉指电极沉积在吸收层内部沟槽中，减少了光生载流子迁移时间，在外加电场作用下，提高载流子的迁移速度和收集效率，从而提高探测器的灵敏度，降低响应时间。
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公开(公告)号：CN107134576A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710212576.8
申请日：2017-04-01
Applicant: 中南大学
IPC: H01M4/48 , H01M4/52 , H01M10/0525
Abstract: 本发明公开了一种Co2AlO4材料及其制备方法和应用，Co2AlO4材料的制备方法包括如下步骤：将混合均匀的钴元素与铝元素的摩尔比为2:1的前驱体材料，经固相烧结，制备得到所述Co2AlO4负极材料。本发明的方法成本低，是一种合成周期短、合成条件易控制、合成方法简单、易于实现大规模生产的制备方法，采用本发明方法制备的Co2AlO4作为锂离子电池的负极材料具有十分优异的电化学性能。
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公开(公告)号：CN106946296A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710124187.X
申请日：2017-03-03
Applicant: 中南大学
IPC: C01G53/00 , H01M4/525 , H01M10/0525
CPC classification number: Y02E60/122 , Y02T10/7011 , C01G53/42 , C01P2002/72 , C01P2004/03 , C01P2004/61 , C01P2006/40 , H01M4/525 , H01M10/0525
Abstract: 本发明公开了一种微米级单晶镍酸锂的制备方法，包括如下步骤：(1)将氯化镍溶液经超声雾化后，进行喷雾热解，收集得到粉体氧化镍前驱体；(2)将步骤(1)得到的粉体氧化镍前驱体与碳酸锂混合，烧结制备得到镍酸锂正极材料。本发明的微米级单晶镍酸锂的制备方法过程简单，所合成镍酸锂正极材料的结构及电化学性能优于现有技术所制备的同种材料，在消费电子、电动汽车等的锂离子电池的制造中具有极大的应用价值。
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