站立式微透镜及其制作方法

    公开(公告)号:CN1713001A

    公开(公告)日:2005-12-28

    申请号:CN200510085684.0

    申请日:2005-07-26

    Abstract: 一种可整合于微光学或微光电系统的站立式微透镜及其制作方法,是利用微影制程形成的高分子材质柱状结构,将柱状结构顶端浸入均匀混合的液态高分子溶液中(如光阻、聚亚酰胺Polyimide等),该液态高分子吸附于柱状结构物顶端,该附着于柱状结构顶端上的液态高分子,因表面张力内聚,其横截面呈弦圆状,通过热处理去除溶剂及固化后,即可作为微光学系统中的微透镜组件;通过高分子材质的选用,此站立式微透镜可由单一材质或由复合材质所构成。

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