公开(公告)号：CN103557854B

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201310546139.1

申请日：2013-11-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  王莉 ,  朱京 ,  白晓晓 ,  王琪 ,  禇伟航 ,  刘俊

IPC: G01C19/5726

Abstract: 本发明公开了一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、驱动悬臂梁、可动框体、检测悬臂梁、质量块、激光光源、光电转换器件、信号检测模块。根据本发明的微机械陀螺仪，其整体结构对称，两质量块驱动方向相对，差分耦合输出，结构合理、紧凑，应用纳米光栅检测，抗电磁干扰能力强，且具有灵敏度高、可靠性好的优势。

公开(公告)号：CN103557854A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201310546139.1

申请日：2013-11-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  王莉 ,  朱京 ,  白晓晓 ,  王琪 ,  禇伟航 ,  刘俊

IPC: G01C19/5726

CPC classification number: G01C19/5726 ,  G01C19/5733 ,  G01C19/5747

Abstract: 本发明公开了一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、驱动悬臂梁、可动框体、检测悬臂梁、质量块、激光光源、光电转换器件、信号检测模块。根据本发明的微机械陀螺仪，其整体结构对称，两质量块驱动方向相对，差分耦合输出，结构合理、紧凑，应用纳米光栅检测，抗电磁干扰能力强，且具有灵敏度高、可靠性好的优势。

公开(公告)号：CN203605948U

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201320697940.1

申请日：2013-11-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  王莉 ,  朱京 ,  白晓晓 ,  王琪 ,  禇伟航 ,  刘俊

IPC: G01C19/5726

Abstract: 本实用新型公开了一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、驱动悬臂梁、可动框体、检测悬臂梁、质量块、激光光源、光电转换器件、信号检测模块。根据本实用新型的微机械陀螺仪，其整体结构对称，两质量块驱动方向相对，差分耦合输出，结构合理、紧凑，应用纳米光栅检测，抗电磁干扰能力强，且具有灵敏度高、可靠性好的优势。