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公开(公告)号：CN102633227B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201210071296.7
申请日：2012-03-16
Applicant: 中北大学
Abstract: 一种MEMS惯性传感器结构压膜阻尼可调装置，主要由阻尼帽、键合衬底、二氧化硅层、氮化硅层、键合金属层、电阻正极、电阻负极、上极板电极、下极板电极、固定基座、硅弹性膜、凹腔、上极板金属层、下极板金属层、上极板金属层引出线、下极板金属层引出线、环形电阻、环形电阻正极引出线、环形电阻负极引出线组成，在键合衬底上制作有2组加热环形电阻和1对静电金属极板，可使待调器件的压膜阻尼系数减小或增加1-2个数量级，从实现对MEMS传感器Q值的封装后调制，此装置结构设计紧凑、巧妙，操作方便、响应迅速、可调精度高。
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公开(公告)号：CN102638753B
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201210071272.1
申请日：2012-03-16
Applicant: 中北大学
Abstract: 一种基于石墨烯的MEMS声学传感器，主要结构由由上层结构、下层结构及石墨烯组成，上层结构上制作有集音腔、间隙腔、通孔板、拾音孔、上层金属层、上层绝缘层、上层金属连接位、上层键合金属层，下层结构层上制作有通孔板、间隙腔、阻尼孔、阻尼腔、下层金属层、下层绝缘层、下层金属连接位、石墨烯连接位、下层金属键合层、上层金属焊盘、下层金属焊盘、上层金属连接孔、下层金属连接孔、石墨烯连接孔，上层绝缘层和下层绝缘层中夹有石墨烯层，单碳原子层厚度的石墨烯材料具有优异的机械特性和电学特性，以石墨烯为振动膜的声学传感器将会实现更高的灵敏度、分辨率，使声音的检测数据翔实、精准、可靠。
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公开(公告)号：CN103592464A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310546176.2
申请日：2013-11-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明公开了一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计，包括：键合基板、支撑框体、约瑟夫逊器件、弹性梁、质量块和压敏电阻。本发明的有益效果在于将约瑟夫逊器件与硅压阻集成,可将加速度信号转换为补偿严格一致的电流台阶信号，结构合理，灵敏度高,数字化输出,检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。可有效解决高过载型传感器存在的低灵敏度、低有效分辨率、高检测阈值下限等难题。
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公开(公告)号：CN103557854B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201310546139.1
申请日：2013-11-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5726
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、驱动悬臂梁、可动框体、检测悬臂梁、质量块、激光光源、光电转换器件、信号检测模块。根据本发明的微机械陀螺仪，其整体结构对称，两质量块驱动方向相对，差分耦合输出，结构合理、紧凑，应用纳米光栅检测，抗电磁干扰能力强，且具有灵敏度高、可靠性好的优势。
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公开(公告)号：CN103543292A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201310547838.8
申请日：2013-11-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/125 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、悬臂梁、质量块、质量块下表面中心设置有隧尖。本发明的有益效果在于采用电容检测与隧道效应检测集成的方式，兼具电容检测与隧道检测的优点，可实现加速度的低检测阈值、宽范围、高灵敏检测；同时可用于已知加速度值环境的加速度精确测量，采用一体化设计，结构合理，灵敏度高,检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109849555B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201910228581.7
申请日：2019-03-25
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开一种集笔、墨、砚于一体的组合化毛笔，包括笔头和笔身外壳，笔身外壳内设有储水组件、储墨组件、砚台以及开关套，储水组件包括盛水管以及安装于盛水管内的推杆，推杆的头部设有活塞；储墨组件包括螺旋杆、螺旋卡套以及墨棒，螺旋卡套螺纹连接在螺旋杆上，螺旋卡套与墨棒相对卡持固定，螺旋杆的末端连接有砚台，螺旋杆呈中空设置，其远离砚台的一端具有进水口，靠近砚台的一端设有出水口，盛水管的出口与螺旋杆的进水口对接，盛水管中的水从螺旋杆的进水口进入、从出水口流出至砚台和墨棒的研磨处；开关套套设在砚台和墨棒的研磨处外侧，笔头固定在开关套下方。本方案的毛笔内部可研磨出墨，集笔、墨、砚于一体。
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公开(公告)号：CN109849555A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201910228581.7
申请日：2019-03-25
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开一种集笔、墨、砚于一体的组合化毛笔，包括笔头和笔身外壳，笔身外壳内设有储水组件、储墨组件、砚台以及开关套，储水组件包括盛水管以及安装于盛水管内的推杆，推杆的头部设有活塞；储墨组件包括螺旋杆、螺旋卡套以及墨棒，螺旋卡套螺纹连接在螺旋杆上，螺旋卡套与墨棒相对卡持固定，螺旋杆的末端连接有砚台，螺旋杆呈中空设置，其远离砚台的一端具有进水口，靠近砚台的一端设有出水口，盛水管的出口与螺旋杆的进水口对接，盛水管中的水从螺旋杆的进水口进入、从出水口流出至砚台和墨棒的研磨处；开关套套设在砚台和墨棒的研磨处外侧，笔头固定在开关套下方。本方案的毛笔内部可研磨出墨，集笔、墨、砚于一体。
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公开(公告)号：CN103557854A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201310546139.1
申请日：2013-11-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5726
CPC classification number: G01C19/5726 , G01C19/5733 , G01C19/5747
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、驱动悬臂梁、可动框体、检测悬臂梁、质量块、激光光源、光电转换器件、信号检测模块。根据本发明的微机械陀螺仪，其整体结构对称，两质量块驱动方向相对，差分耦合输出，结构合理、紧凑，应用纳米光栅检测，抗电磁干扰能力强，且具有灵敏度高、可靠性好的优势。
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公开(公告)号：CN103364585A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310305527.0
申请日：2013-07-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 一种新型介观压阻效应微加速度计，主要结构由键合基板、敏感质量块、支撑框体、共振隧穿器件、组合梁组成，共振隧穿器件由共振隧穿材料薄膜层、共振隧穿器件正极、共振隧穿器件负极组成，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成；以键合基板为载体，在键合基板上键合有支撑框体，支撑框体的四边中心位置处连接有组合梁，组合梁连接于敏感质量块的四边中心部位，另一侧与支撑框体相连，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成。共振隧穿材料薄膜层形成多势垒压敏结构，可使硅压阻器件的灵敏度提高1-2个数量级，根据本发明实施例的微加速度计，结构合理紧凑，检测方便，精度高，可靠性好，适合微型化，具有很强的抗横向作用。
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公开(公告)号：CN203605948U
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201320697940.1
申请日：2013-11-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5726
Abstract: 本实用新型公开了一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、驱动悬臂梁、可动框体、检测悬臂梁、质量块、激光光源、光电转换器件、信号检测模块。根据本实用新型的微机械陀螺仪，其整体结构对称，两质量块驱动方向相对，差分耦合输出，结构合理、紧凑，应用纳米光栅检测，抗电磁干扰能力强，且具有灵敏度高、可靠性好的优势。
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