公开(公告)号：CN109029273A

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201811240791.X

申请日：2018-10-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  王雅宁 ,  李孟委 ,  王志斌 ,  解琨阳 ,  赵宏波

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B11/02 ,  G01B9/02055

Abstract: 本发明涉及位移测量技术领域，更具体而言，涉及一种基于环形器的纳米光栅0级检测位移的测量方法，通过纳米光栅直接反射后的0级衍射光与经过反射镜后反射回的0级衍射光干涉信号来测量，实现入射光与检测光共光路；采用探测0级衍射光的方法，提高光能利用率和光电探测灵敏度；并且结合光纤环形器实现入射光与检测光共光路的方法，实现方便，请可有效消除杂散光的影响；结合在光栅处添加压电陶瓷驱动器，使其进行正弦调制，通过锁相放大一倍和二倍频信号，实现位移的高精度和高灵敏度测量，消除了背景噪声及激光强度波动对测量的影响，通过锁相一倍频信号和二倍频信号幅值，并进行相除可消除激光光强波动导致位移测量精度下降问题。

公开(公告)号：CN109029272A

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201811240765.7

申请日：2018-10-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  王雅宁 ,  李孟委 ,  解琨阳 ,  王志斌 ,  赵宏波

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明涉及高精度位移测量技术领域，更具体而言，涉及一种双通道光栅位移测量方法，通过改变传统亚波长双层光栅结构，实现两个相位相差90°的双通道光栅位移传感，结合反正切可实现大量程、全量程灵敏度一致的高精度位移测量。由于该方法可获得一个通道光强随位移为正弦三角函数、另一个通道光强光强随位移为余弦三角函数，并且光栅常数d为亚波长级别，结合高倍细分技术，可实现跟高位移灵敏度的探测。

公开(公告)号：CN109029272B

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201811240765.7

申请日：2018-10-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 张瑞 ,  王雅宁 ,  李孟委 ,  解琨阳 ,  王志斌 ,  赵宏波

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明涉及高精度位移测量技术领域，更具体而言，涉及一种双通道光栅位移测量方法，通过改变传统亚波长双层光栅结构，实现两个相位相差90°的双通道光栅位移传感，结合反正切可实现大量程、全量程灵敏度一致的高精度位移测量。由于该方法可获得一个通道光强随位移为正弦三角函数、另一个通道光强光强随位移为余弦三角函数，并且光栅常数d为亚波长级别，结合高倍细分技术，可实现跟高位移灵敏度的探测。