可变环境下微纳传感器的自动加载平台

    公开(公告)号:CN103048013B

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201210569240.4

    申请日:2012-12-25

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于微纳器件标定测试的技术领域,具体是一种可变环境下微纳传感器的自动加载平台,解决了目前由于微纳器件,如压力传感器、加速度传感器等的特殊性,大多数的测试设备要求进行特定的环境测试、电气测、电气测试及机械测试。其包括传感器测试柜、自动加装子系统、控制子系统、数据网栅接口、高精度多通道数据采集板;所述控制子系统包括温度调整装置以及湿度调整装置、温度传感器和湿度传感器、轴上倾角传感器。本发明与现有的技术相比有如下优点:满足传感器多种参数的同时或分别测试需求,解决了以往只能实现环境单一变量测试的问题,适用于复杂环境测试场合;量实现标定、测试的高精度需求。

    高温环境下压力测试用高温陶瓷压力传感器及其加工方法

    公开(公告)号:CN103017945B

    公开(公告)日:2015-03-25

    申请号:CN201210503282.8

    申请日:2012-11-30

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及压力传感器领域,具体是一种高温环境下压力测试用高温陶瓷压力传感器及其加工方法。能够长时间在特殊高温环境下实现有效的压力测试。包括感压陶瓷件,感压陶瓷件内设密闭腔室,感压陶瓷件上、下平面上皆设电极层、平面螺旋电感,两电极层构成电容;电容与两平面螺旋电感串联形成LC回路。加工步骤含:a、流延;b、打孔;c、叠片、填充;d、层压、热切;e、高温烧结;f、印刷、低温烧结;g、空腔密封。本发明以全新角度设计和实现传感器敏感元件的具体结构,结构巧妙、合理,实现了基于LC谐振原理、以非接触性无线方式进行检测的无源无线高温陶瓷压力传感器,能够在300℃以上高温环境下长时间进行压力测试。

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