一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115031874B

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202210694814.4

    申请日:2022-06-20

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及谐振式压力传感器,具体是一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器及其制备方法。本发明解决了现有谐振式压力传感器测量精度较低的问题。一种基于UV胶微球谐振腔的压力传感器,包括玻璃基片、UV胶微球谐振腔、光纤锥、偏振控制器、宽带光源、光谱分析仪;其中,玻璃基片的表面喷涂有超疏水涂料层;UV胶微球谐振腔固定于超疏水涂料层的表面;光纤锥的锥区与UV胶微球谐振腔耦合;宽带光源的输出端通过偏振控制器与光纤锥的首端连接;光谱分析仪的输入端与光纤锥的尾端连接。本发明适用于压力的测量。

    一种基于回音壁谐振腔的精密传感测量系统

    公开(公告)号:CN116499505B

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN202310776724.4

    申请日:2023-06-29

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及光学传感测量领域,具体是一种基于回音壁谐振腔的精密传感测量系统,其包括可调谐激光器、偏振控制器、第一聚焦镜、耦合棱镜、回音壁谐振腔、第二聚焦镜、光电探测器、示波器、带通滤波器、计算机,其中,可调谐激光器的出射端依次通过偏振控制器、第一聚焦镜与耦合棱镜的入射面连接,耦合棱镜的耦合面与回音壁谐振腔耦合,且耦合棱镜和回音壁谐振腔共同组成敏感单元,耦合棱镜的出射面通过第二聚焦镜与光电探测器的入射端连接,其有效解决了现有基于回音壁谐振腔的传感测量系统测量结果不准确、测量精度较低的问题,适用于各种信号(加速度、声音、振动、压力)的传感测量。

    一种基于回音壁谐振腔的精密传感测量系统

    公开(公告)号:CN116499505A

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN202310776724.4

    申请日:2023-06-29

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及光学传感测量领域,具体是一种基于回音壁谐振腔的精密传感测量系统,其包括可调谐激光器、偏振控制器、第一聚焦镜、耦合棱镜、回音壁谐振腔、第二聚焦镜、光电探测器、示波器、带通滤波器、计算机,其中,可调谐激光器的出射端依次通过偏振控制器、第一聚焦镜与耦合棱镜的入射面连接,耦合棱镜的耦合面与回音壁谐振腔耦合,且耦合棱镜和回音壁谐振腔共同组成敏感单元,耦合棱镜的出射面通过第二聚焦镜与光电探测器的入射端连接,其有效解决了现有基于回音壁谐振腔的传感测量系统测量结果不准确、测量精度较低的问题,适用于各种信号(加速度、声音、振动、压力)的传感测量。

    一种基于高分辨率光源的干涉式光学传声装置

    公开(公告)号:CN114979918A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210694878.4

    申请日:2022-06-20

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及光学传声装置,具体是一种基于高分辨率光源的干涉式光学传声装置。本发明解决了现有光学传声装置制作难度较大、抗干扰能力较差、检测灵敏度较低、检测分辨率较低的问题。一种基于高分辨率光源的干涉式光学传声装置,包括DFB激光器、线宽压窄模块、第一聚焦光纤、分束器、延迟光纤、光环行器、第二聚焦光纤、准直透镜、振动反射膜、衬板、合束器、光衰减器、光电探测器、声卡;其中,DFB激光器的出射端依次通过线宽压窄模块、第一聚焦光纤与分束器的入射端连接;分束器的第一个出射端通过延迟光纤与光环行器的第一端口连接;光环行器的第二端口与第二聚焦光纤的首端连接。本发明适用于声信号的传递与读取。

    基于光学锁相环的双光源自注入锁定谐振式微光机电陀螺

    公开(公告)号:CN112066969B

    公开(公告)日:2021-08-13

    申请号:CN202011104730.8

    申请日:2020-10-15

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及惯性测量器件,具体是一种基于光学锁相环的双光源自注入锁定谐振式微光机电陀螺。本发明解决了传统的单光源谐振式微光机电陀螺难以从根本上有效抑制光源的频率噪声及光路中的背散射噪声的问题。基于光学锁相环的双光源自注入锁定谐振式微光机电陀螺,包括第一可调谐激光器、第二可调谐激光器、第一光环行器、第二光环行器、第一分束器、第二分束器、第三分束器、第四分束器、第一波导、第二波导、环形谐振腔、第一合束器、第二合束器、第一光电探测器、第二光电探测器、第三光电探测器、光学锁相环、数据处理模块、数据记录仪。本发明适用于惯性导航系统。

    一种基于双腔耦合的被动调Q装置及方法

    公开(公告)号:CN115084994A

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202210722366.4

    申请日:2022-06-20

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及调Q装置,具体是一种基于双腔耦合的被动调Q装置及方法。本发明解决了现有调Q装置结构复杂、体积庞大、实现成本高的问题。一种基于双腔耦合的被动调Q装置,包括准连续泵浦源、耦合棱镜、WGM光学谐振腔、可饱和吸收体、光衰减器、光电探测器、泵浦控制器;其中,准连续泵浦源的出射端与耦合棱镜的入射面连接;WGM光学谐振腔与耦合棱镜的耦合面耦合形成第一耦合点;可饱和吸收体与WGM光学谐振腔耦合形成第二耦合点;耦合棱镜的出射面与光衰减器的入射端连接;光衰减器的出射端与光电探测器的入射端连接;光电探测器的信号输出端与泵浦控制器的信号输入端连接;泵浦控制器的信号输出端与准连续泵浦源的信号输入端连接。本发明适用于调Q。

    一种基于光纤谐振腔的微弱磁传感装置

    公开(公告)号:CN114355259A

    公开(公告)日:2022-04-15

    申请号:CN202011127909.5

    申请日:2020-10-13

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于光纤谐振腔的微弱磁传感装置,包括窄线宽激光器、隔离器、相位调制器、第一光衰减器、第二衰光减器、三维线圈、核心磁敏感单元、FPGA电路、示波器,FPGA电路采用XC4VLX60芯片设计的环路锁频算法,包含光电探测器(PD)、信号发生器、锁相放大器。本发明可以快速准确的检测到微弱的直流磁信号,灵敏度高,具有稳定的可靠性。

    基于双谐振腔的陀螺仪与加速度计集成系统及其制备方法

    公开(公告)号:CN112066975B

    公开(公告)日:2021-05-14

    申请号:CN202011019821.1

    申请日:2020-09-25

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及惯性测量器件,具体是一种基于双谐振腔的陀螺仪与加速度计集成系统及其制备方法。本发明解决了传统的微光学陀螺仪与微光学加速度计难以实现芯片化集成制造封装、容易受到环境中噪声影响的问题。基于双谐振腔的陀螺仪与加速度计集成系统,包括微光学传感结构、锁频与解算系统;所述微光学传感结构包括矩形硅衬底、二氧化硅包层、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、第三光纤耦合器、第四光纤耦合器、第五光纤耦合器、直波导、Y波导、第一环形谐振腔、第二环形谐振腔、硼磷硅玻璃包层;所述锁频与解算系统包括窄线宽激光器、第一隔离器、第二隔离器、第三隔离器、第一分束器、第二分束器、声光调制器。本发明适用于惯性导航系统。

    一种基于CaF2晶体谐振腔的高灵敏度声传感器及测量方法

    公开(公告)号:CN114414033B

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202210045572.6

    申请日:2022-01-15

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及谐振式声传感器,具体是一种基于CaF2晶体谐振腔的高灵敏度声传感器及测量方法。本发明解决了现有谐振式声传感器灵敏度较低的问题。一种基于CaF2晶体谐振腔的高灵敏度声传感器,包括1630nm激光器、第一偏振控制器、1550nm激光器、第二偏振控制器、光纤锥、CaF2晶体谐振腔、长通滤波器、光电探测器、示波器、计算机;1630nm激光器的出射端通过第一偏振控制器与光纤锥的首端连接;1550nm激光器的出射端通过第二偏振控制器与光纤锥的首端连接;光纤锥的尾端通过长通滤波器与光电探测器的入射端连接;CaF2晶体谐振腔与光纤锥耦合;光电探测器的信号输出端与示波器的信号输入端连接;示波器的信号输出端与计算机的信号输入端连接。本发明适用于声信号的测量。

    一种基于湿法腐蚀制作片上光纤微腔耦合系统的方法

    公开(公告)号:CN114879309B

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202210694976.8

    申请日:2022-06-20

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及片上光纤微腔耦合系统,具体是一种基于湿法腐蚀制作片上光纤微腔耦合系统的方法,该方法是采用如下步骤实现的:步骤一:将光纤的涂覆层中段进行机械剥除;步骤二:对光纤的裸光纤中段进行清洗;步骤三:将光纤的涂覆层两端与硅片的上表面粘接固定;步骤四:将光纤的裸光纤中段腐蚀成为光纤锥;步骤五:调整两个位移台,直至回音壁模式光学微腔与光纤锥的锥区之间实现耦合;步骤六:调整两个位移台,直至回音壁模式光学微腔与光纤锥的锥区之间达到最佳耦合状态;步骤七:制得片上光纤微腔耦合系统。本发明有效解决了现有片上光纤微腔耦合系统制作方法制得的产品体积过大、可靠性差、封装难度高、制作成本高的问题。

Patent Agency Ranking