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公开(公告)号：CN109768154B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN201811549571.5
申请日：2018-12-18
Applicant: 中北大学
IPC: H01L41/331 , H01L41/16 , B81B7/02 , B81C1/00
Abstract: 本申请公开了一种蓝宝石基可控剥离柔性PZT薄膜制备方法，包括：基片的准备；配制PZT前驱体溶液；PZT薄膜的制备：将前驱体胶体旋涂在基片上，并对薄膜进行热处理和退火处理，重复上述步骤，最终可制备出PZT薄膜；电镀液的配制：将六水合氯化镍和硼酸依次溶解在去离子水中并不断加热搅拌直到充分溶解；Ni应力层的沉积：电镀前预先在PZT薄膜上溅射的金属种子层，然后在金属种子层表面电镀Ni应力层；裂缝的产生：随着电镀时间的增加，PZT薄膜沿着裂缝方向与基片逐渐分离直至完全分开；PZT薄膜的转移：清洗后将其与柔性PET基底粘在一起；柔性PZT薄膜制备完成。本申请通过可控剥离技术制备的柔性PZT薄膜依然保持良好的铁电性能，而且具有良好的机械性能。
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公开(公告)号：CN107452867A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710839323.3
申请日：2017-09-18
Applicant: 中北大学
IPC: H01L41/113 , H01L41/18 , H01L41/27
CPC classification number: H01L41/113 , H01L41/183 , H01L41/27
Abstract: 本发明公开了一种柔性可拉伸一体式压电橡胶，包括电极复合层A（1）、电极复合层B（2）和压电复合层（3），所述电极复合层A（1）和电极复合层B（2）位于压电复合层（3）两侧。所述电极复合层A（1）和电极复合层B（2）均是通过将导电颗粒填充到柔性聚合物材料中制得；所述压电复合层（3）是通过将压电材料填充到柔性聚合物材料中制得。构成压电复合层和电极复合层中的柔性聚合物材料相同，即为硫化后具有柔性和和拉伸性的混炼硅橡胶。本发明能够在拉伸情况下保持良好的电信号输出能力，在多次拉伸后具有稳定的电性能输出，进而使得该压电橡胶具有良好的可拉伸性能，为人体的可穿戴设备以及大形变应用提供了更多的选择。
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公开(公告)号：CN107452867B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201710839323.3
申请日：2017-09-18
Applicant: 中北大学
IPC: H01L41/113 , H01L41/18 , H01L41/27
Abstract: 本发明公开了一种柔性可拉伸一体式压电橡胶，包括电极复合层A（1）、电极复合层B（2）和压电复合层（3），所述电极复合层A（1）和电极复合层B（2）位于压电复合层（3）两侧。所述电极复合层A（1）和电极复合层B（2）均是通过将导电颗粒填充到柔性聚合物材料中制得；所述压电复合层（3）是通过将压电材料填充到柔性聚合物材料中制得。构成压电复合层和电极复合层中的柔性聚合物材料相同，即为硫化后具有柔性和和拉伸性的混炼硅橡胶。本发明能够在拉伸情况下保持良好的电信号输出能力，在多次拉伸后具有稳定的电性能输出，进而使得该压电橡胶具有良好的可拉伸性能，为人体的可穿戴设备以及大形变应用提供了更多的选择。
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公开(公告)号：CN109768154A
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201811549571.5
申请日：2018-12-18
Applicant: 中北大学
IPC: H01L41/331 , H01L41/16 , B81B7/02 , B81C1/00
Abstract: 本申请公开了一种蓝宝石基可控剥离柔性PZT薄膜制备方法，包括：基片的准备；配制PZT前驱体溶液；PZT薄膜的制备：将前驱体胶体旋涂在基片上，并对薄膜进行热处理和退火处理，重复上述步骤，最终可制备出PZT薄膜；电镀液的配制：将六水合氯化镍和硼酸依次溶解在去离子水中并不断加热搅拌直到充分溶解；Ni应力层的沉积：电镀前预先在PZT薄膜上溅射的金属种子层，然后在金属种子层表面电镀Ni应力层；裂缝的产生：随着电镀时间的增加，PZT薄膜沿着裂缝方向与基片逐渐分离直至完全分开；PZT薄膜的转移：清洗后将其与柔性PET基底粘在一起；柔性PZT薄膜制备完成。本申请通过可控剥离技术制备的柔性PZT薄膜依然保持良好的铁电性能，而且具有良好的机械性能。
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