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公开(公告)号：CN117542702A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311425002.0
申请日：2023-10-30
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于电子开关技术领域，具体涉及一种石墨烯RF NEMS开关，包括衬底、微波传输线、介电层和悬浮顶部电极石墨烯导电膜，所述衬底上方分布有微波传输线，所述微波传输线上方固定有介电层和悬浮顶部电极石墨烯导电膜，所述介电层上方垂直悬挂有顶部电极石墨烯导电膜。本发明的悬置梁为弹性二维薄层石墨烯材料，代替了传统的金属梁材料，实现了小尺寸、轻重量、低成本、低驱动电压、快速的响应时间，更少的电阻损耗、优异的RF性能和用于电路中更小的占用空间。本发明在高频下可实现低的插入损耗和高隔离度，并且作为介电层，可以避免在加工过程当中因驱动电压的升高导致的断裂变形的问题以及对于降低开关的驱动电压具有显著的成效。
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