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公开(公告)号：CN116858206A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202311130368.5
申请日：2023-09-04
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明涉及微机械振动陀螺，具体是一种具有环形拓扑梳齿的双模高精度微机械陀螺结构。本发明解决了现有微机械振动陀螺精度较差的问题。一种具有环形拓扑梳齿的双模高精度微机械陀螺结构，包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分；所述谐振子部分包括圆柱状中心锚点、圆环状谐振质量、八根轮辐状内侧弹性支撑悬梁、八根轮辐状外侧弹性支撑悬梁；所述电极部分包括八对弧形内层电极、八对弧形外层电极、八对单侧梳齿形电极A、八对单侧梳齿形电极B、八对单侧梳齿形电极C、八对单侧梳齿形电极D、八对单侧梳齿形电极E、八对单侧梳齿形电极F。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
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